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扫描探针显微镜定量标定 李 晖 凌 非线性力学国家重点实验室(LNM) LNM2009年度公共实验平台技术研讨会 * 扫描探针显微镜(SPM)工作原理示意图 针尖的曲率半径 10~40nm * 弹性常数 K: N/nm * 弹性常数的标定方法 Theoretical Methods 矩形梁 * 弹性常数的标定方法 Static Deformation Methods: apply a known force a small added mass a reference lever an indentation device * 弹性常数的标定方法 Added-Mass Methods M1 * 弹性常数的标定方法 Thermal Noise Methods The Equipartition Theorem * 弹性常数的标定方法 Thermal Noise Methods 无损　在位　简单 Stiffer Levers: Relatively small thermal noise amplitude Limited by bandwidth * 弹性常数的标定方法 Resonant Frequency Methods 矩形梁 l w * 实验验证 Modified Resonant Frequency Methods A rectangular beam * 实验验证 Modified Resonant Frequency Methods A rectangular beam Provided by manufacturer 0.03~0.2 N/m Thermal noise methods 0.18 N/m Modified Resonant Frequency methods 0.140 N/m * 进一步的问题 悬臂梁的弹性变形：与环境流体的耦合 三角形梁的标定：三维问题 * * 精品文档 *