装置器壁烘烤出气与辉光放电清洗出气研究-核聚变与等离子体物理.PDF

第 27 卷 第 1 期 核 聚 变 与 等 离 子 体 物 理 Vol.27, No.1 2 0 0 7 年 3 月 Nuclear Fusion and Plasma Physics March 2007 文章编号：0254−6086(2007)01−0077−04 装置器壁烘烤出气与辉光放电 清洗出气研究 王志文，韦卫星，赵元庆，何燕和，廖义奎 (广西民族大学物理与电子工程学院，南宁 530006) 摘 要：建立了烘烤出气和辉光放电清洗(GDC)出气的物理模型，研究了装置器壁的烘烤出气和辉光放电清 洗出气特点。烘烤出气是体出气，出气过程满足扩散方程；GDC 出气是溅射脱附过程，它主要是器壁表面的溅 射诱导出气。由此分析了 HL-1M 装置的烘烤出气和辉光放电清洗出气特点，得出了一些经验公式。 关键词：出气；扩散；辉光放电 中图分类号：TN107 文献标识码：A 1 引言 F −D ∂c (2) 真空装置器壁出气是真空系统中的一个重要 ∂x t 0, l x l ; c c 的气源，有效降低真空装置器壁的本底出气是改善 − ≤ ≤ 0  ∂c 定解条件 真空系统的本地真空、获得超高真空的重要手段。 t ≥0, x ±l , c 0 ;  ∂x 尤其是首次投入使用的或者较长时间暴露大气的 x 0  超高真空系统，必须先有效去除真空装置器壁所吸 附的气体，才有利于装置的运行。烘烤出气和辉光 放电出气是非常有效的降低真空装置器壁的本底 出气的手段，如聚变研究的托卡马克装置真空已把 这两种方法作为装置恢复运行的常规方法。本文将 建立物理模型来理论分析装置器壁的烘烤出气和 辉光放电出气特性，并由此分析了 HL-1M 装置的 烘烤出气和辉光放电出气特点，得出了实验中 HL-1M 装置的出气经验公式。 图 1 器壁“薄板”模型示意图 2 器壁出气物理模型 2.1 薄板不锈钢壁 求解此定解问题可得： 真空容器壁烘烤时，烘烤期间“薄板”不锈钢 ∞ ( )n  ( )2 2  ( ) 4c −1 2n +1 π D 2n +1 π