国家科技重大专项机械制造装备设计大连理工大学机械工程学院.PPT

国家科技重大专项 极大规模集成电路制造装备及成套工艺 亟需开发集成电路关键制造装备和工艺，带动相关产业的技术提升和结构调整 2008年我国半导体芯片设备市场: 54.8亿美元。 光刻机、刻蚀机、高质量薄膜材料生长及后封装等关键设备全部依赖进口。 参考：IC Insights公司 高档数控 大型飞机 IC制造 国家科技重大专项 核心内容：2010年实现了90nm制造技术商品化 高档数控 大型飞机 IC制造 制造装备 战略高端：光刻机、刻蚀机、薄膜设备等 量大面广：键合机、划片机、清洗设备等 关键技术 超精密运动平台 光刻机光学系统 高性能平面/直线电机 高加速度高精度控制技术 光刻机 晶圆操作 90nm光刻机的技术指标 高档数控 大型飞机 IC制造 高精度 工作台运动10nm 两工作台同步平均偏差5nm 大行程 掩模台和硅片台的行程300mm 大载荷 工作台载荷40kg 速度和加速度 掩模台480mm/s，加速度1.9g 国家科技重大专项 国家科技重大专项 引线键合机的技术指标 高精度空间运动控制 运动精度 2-5微米 高加速度运动控制 加速度15g 高起停频率 起停频率15次/秒 高定位精度 机器视觉定位1微米 引线键合机 高档数控 大型飞机 IC制造 国家科技重大专项 大型飞机 2005年-2020年间，我国通用飞机市场需求量应在1万架左右。支线客机ARJ21—700，发动机、电子控制系统等关键部件依赖进口，国产化率很低。 大飞机项目中，国产化率要达到30%。 高档数控 大型飞机 IC制造 亟需突破飞机发动机和大型结构件等关键部件的高效制造技术 国家科技重大专项 制造方面的核心内容 高档数控 大型飞机 IC制造 机身结构件典型零件 大型机翼整体壁板 大型复合材料结构件 大型整体框类结构件 发动机关键零件 耐高温高强度材料的机匣 耐高温钛合金材料的叶片 高温合金材料的整体叶盘 机翼根肋大梁,长6m 整体叶盘 国家科技重大专项 发动机关键零件—整体叶轮制造 通道复杂、空间狭窄，材料去除75% 2.8mm 1.4mm 叶片薄，切削力大，易变形和振动 高温合金材料，切削性能差 高档数控 大型飞机 IC制造 国家科技重大专项 大型整体薄壁件高效加工 大型整体薄壁件 长7米，厚1毫米 材料去除率大 去除率约95％ 加工精度难以保证 易变形和振动 表面质量难以控制 表面粗糙度和毛刺 梁间整体肋 高档数控 大型飞机 IC制造 国家需求 制造大国 制造业占国民经济30%的产值 工业增加值居世界第四位 建设制造强国是我国的国家目标 发展高端制造装备 掌握关键零部件的核心制造技术 1.1.1 发展机械制造装备的战略意义 第一章 共60页 第2页 国际市场的竞争归根到底是各国制造生产能力的竞争。 机械制造业是制造业的核心，其生产能力和发展水平标志着一个国家或地区的经济现代化的程度，而机械制造业的生产能力主要取决于机械制造装备的先进程度。 “拿来主义”不能形成制造业的核心竞争力，发展先进的装备制造技术刻不容缓，是实现向“制造强国”跨越的必由之路。 机床及其它制造装备是机械制造技术的重要载体。 制造业对数控制造装备的需求 高端机床在发达国家的战略地位 美国：重振制造业计划 2012年5次演讲：提出要确保美国在高端制造业的领先地位 2013年开始全面实施“高端制造合作伙伴（AMP）计划” 德国：德国工业以高端机床带动其制造业 2007年9月7日温家宝总理视察大连机床集团时指出：数控机床的水平是一个国家机械化、现代化的重要标志，象征着一个国家的科学水平、创新能力和综合能力，中国要成为生产数控机床的大国。 温家宝总理视察哈量集团 温家宝总理视察大连机床集团 2025进入第二方阵 2045进入第一方阵 高端数控机床要先行 高端机床在我国的战略地位 习总书记：对先进制造技术，要“高度关注、密切跟踪、迎头赶上” 马凯副总理指出：装备工业短板是高端机床 我国制造强国计划 制造业对数控制造装备的需求 机械制造装备的发展趋势 用中国装备装备中国 1、向高效、高速、高精度方向发展 2、多功能复合化、柔性自动化的产品成为主流 3、实施绿色制造与可持续制造发展战略 4、智能制造技术和智能化装备有了新的发展 5、我国自主创新和高新技术的发展 第一章重点内容： （1）机械制造装备设计的主要功能/性能； （2）机床设计过程； （3）可靠性设计 自主学习： （1）精度建模技术； （2）材料力学、弹性力学基础理论； （3）机械系统可靠性设计 * * * * * * * * * * * * * * * * * * 机械制造装备设计 (国家精品课程) 孙清超 孙清超 qing