气相色谱FPD检测器在线分析磷化氢气体-分析测试技术专题知识库.PDF

浙江理工大学学报 ，第 26卷，第 2期，2009年 3月 Journa10fZhejiangSci—TechUniversity Vo1．26，No．2，Mar．2009 文章编号 ：1673—3851(2009)O2—0219—04 气相色谱 FPD检测器在线分析磷化氢气体 俞晓晶 ，丁高松 ，金达莱 ．，汪丽娜 。王 勇 ，姚奎鸿 (浙江理工大学，a．材料工程中心；b．分析测试中心；c．教务处，杭州310018) 摘 要：利用气相色谱方法，采用火焰光度检测器(FPD)，对磷化氢气体进行了较为系统的气相分析，建立了快 速、灵敏、可靠的磷化氢工业在线分析。调节色谱操作参数，验证实验数据的可靠性；用焰光度检测器检测，测量的 灵敏度为 2．48×1O“V ·s／g，最小检测限为 1．6129×lO 。g／s；以柱效为评价指标，优化检测磷化氢的色谱操作条 件，得出最佳柱箱温度和载气流速分别在 14O℃左右、80mL／min附近。 关键词：磷化氢；气相色谱 ；火焰光度检测器(FPD)；在线分析 中图分类号：TQO16 文献标识码：A 0 引 言 磷化氢(PHs)，又称磷烷，是一种重要的电子气体_1_3_。PH。有毒性、危险性非常大。我国PH。研究起 步于 “六五”期间，光明化工研究设计院受原化工部资金的支持，开展 PH。的合成、净化、分析等系列研究， “七五”期间我国的南京特气公司(现改为华厦气体公司)，也曾开展此方面的工作[4]。目前国内PH。大部分 用户都采用进 口的PHs用来进行5 的Nz—PH。配制_4]。PH。在国际上销售价格较高，国际上几大气体公 司都有超纯PHs销售。由于涉及 自主知识产权 问题，有关电子气体的生产、净化、包装、分析等技术多在国 际属于高度保密，可参考借鉴的相关资料非常稀少。 在线分析仪器是现代工业生产中不可缺少的一部分，并且起着 “指导者”和 “把关者”的作用。为保证质 量和生产安全，各种工业生产，特别是连续 自动化生产都离不开关键的质量监控，这是众所周知的事实嘲。 随着 IC产业国际化竞争 日益加剧，开展电子气体的自主研究与生产势在必行，精确的分析也必不可少。作 为一种重要的半导体器件掺杂源气体，PH。的定性与定量分析，特别是PH。在线测定方法的建立显得十分 重要 引。 磷化氢定量及定性分析方法主要有钼蓝比色法和气相色谱法。前者操作费时，灵敏度低，不适用于大量 样品和低浓度样品的测定；后者方便快捷，但样品预处理复杂，而且 由于磷化氢容易受外界因素如光和氧气 等的影响，目前国内仍未将色谱法作为磷化氢分析的标准方法[。但是，针对PH。的在线分析，气相色谱法 仍具有不可替代的快速和便捷的优点。 灵敏度和检测限是气相色谱仪检测器的主要性能指标[8]，火焰光度检测器(FPD)是一种只对含硫、含磷化 合物有高选择性、高灵敏度的检测器 u]，FPD检测器用于对磷化氢进行系统的气相在线分析尚未见报道。 本文主要采用火焰光度检测器 (FPD)对磷化氢 (PH。)进行在线系统模拟检测，通过调节柱箱温度和载 气流速等色谱参数，在对其实验值和理论值进行比较证明其可靠性的同时，以色谱柱的柱效为性能指标，选 择适用于在线分析磷化氢的最佳色谱条件。 收稿 日期：2008一O1—25 基金项 目：浙江省科技厅分析测试科技计划项 目(2O07F7OO25) 作者简介：俞晓晶(1985一 )，男，浙江武义人，硕士研究生，从事半导体及无机材料研究。 220 浙 江 理 工 大 学 学 报 2O。9年 第 26卷 1 实验部分 1．1 主要仪器和试剂 GC一9790Ⅱ型气相色谱仪(温州福立分析仪器有限公司)；含量约3．02 磷化氢样品气(南京华厦特种气 体有限公司)；含量约99．99 氢气(上海浦江特种气体有限公司)；含量约99．999 氮气(浙江大学半导体研 究所)；空气(浙江大学半导体研究所)。 1．2 色谱柱 不锈钢柱(3m×3mm)固定相为：AE．P0r印akQ(兰州中科安泰分析科技有限公司)。 1．3 检测器的选择 工业气体 火焰光度检测器(FPD)。 1．4 装置 气体的在线分析装置如图 1，所有管线使用 10mm×2 mm 的3O4不锈钢管，管线长度