传感器与检测技术第7章.ppt

第二节 湿度传感器 湿敏元件利用湿敏材料吸收空气中的水份而导致本身电阻值发生变化的原理而制成。 随着现代工业技术的发展，纤维、造纸、电子、建筑、食品、医疗等部门提出了高精度高可靠测量和控制湿度的要求，因此，各种湿敏元件不断出现。 利用湿敏元件进行湿度测量和控制具有灵敏度高、体积小、寿命长、可以进行遥测和集中控制等优点。 一、相对湿度与绝对湿度 湿度是指大气中所含的水蒸气量。 最常用的有两种表示方法，即绝对湿度和相对湿度。 绝对湿度是指一定大小空间中水蒸气的绝对含量，用kg/m3表示。 绝对湿度也可称为水气浓度或水气密度。 一、相对湿度与绝对湿度 绝对湿度也可用水的蒸气压表示。设空气水气密度为?，根据理想气体状态方程，得关系式为 一、相对湿度与绝对湿度 相对湿度为某一被测蒸气压与相同温度下饱和蒸气压比值的百分数，这是一个无量纲值。显然，绝对湿度给出了水份在空间的具体含量，相对湿度则给出了大气的潮湿程度，故使用更广泛。 一、相对湿度与绝对湿度 湿敏元件多种多样，如氯化锂湿敏元件，半导体陶瓷湿敏元件，热敏电阻湿敏元件，高分子膜湿敏元件等。 二、氯化锂湿敏元件 氯化锂湿敏电阻是利用吸湿性盐类潮解，离子导电率发生变化而制成的测湿元件。 它的结构是在条状绝缘基片的两面，用化学沉积或真空蒸镀的方法作上电极，再沉渍一定配方的氯化锂—聚乙烯醇混合溶液，经一定时间的老化处理，即可制成湿敏电阻传感元件。 二、氯化锂湿敏元件 氯化锂是典型的离子晶体。高浓度的氯化锂溶液中，Li和Cl仍以正、负离子的形式存在；而溶液中的离子导电能力与溶液的浓度有关。 二、氯化锂湿敏元件 实践证明，溶液的当量电导随着溶液浓度的增高而下降。当溶液置于一定温度的环境中时，若环境的相对湿度高，溶液将因吸收水份而浓度降低；反之，环境的相对湿度低，则溶液的浓度高。 因此氯化锂湿敏元件的电阻值将随环境相对湿度的改变而变化，从而实现对湿度的电测量。 二、氯化锂湿敏元件 氯化锂湿敏元件的电阻结构 二、氯化锂湿敏元件 三、半导体陶瓷湿敏元件 制造半导体陶瓷湿敏元件的材料，主要是不同类型的金属氯化物。 几种典型的金属氯化物半导瓷的湿敏特性。由于它们的电阻率随湿度的增加而下降，故称为负特性湿敏半导瓷。 三、半导体陶瓷湿敏元件 还有一类材料(如Fe3O4半导瓷)的电阻率随着湿度的增加而增大，称为正特性湿敏半导瓷 四、热敏电阻式湿敏元件 绝对湿度传感器 1.工作原理 四、热敏电阻式湿敏元件 绝对湿度传感器 1.工作原理 四、热敏电阻式湿敏元件 绝对湿度传感器 1.工作原理 四、热敏电阻式湿敏元件 绝对湿度传感器 2.特点 ①灵敏度高且响应速度快(90％响应，约12s)； ②无滞后现象； ③不像干湿球温度计需要水和纱布及其它维修保养； ④可连续测量(不需要加热清洗)； ⑤抗受风、油、尘埃能力强。 四、热敏电阻式湿敏元件 绝对湿度传感器 3.应用 使用这种绝对湿度传感器的湿度调节器，可制造出精密的恒湿槽。 四、热敏电阻式湿敏元件 绝对湿度传感器 3.应用 使用这种绝对湿度传感器的湿度调节器，可制造出精密的恒湿槽。 五、高分子膜湿敏元件 吸湿、干燥是空气中的水份(湿度)和物质的相互作用。在质量管理、干燥工程和节能等设计中，相对湿度的测量很重要。高分子膜湿度传感器常用于工业湿度计测中。 五、高分子膜湿敏元件 1.工作原理 高分子膜湿度传感器是以随高分子膜吸收或放出水份而引起电导率或电容变化测量环境相对湿度的装置。 电容式湿度传感器 五、高分子膜湿敏元件 1.工作原理 高分子膜湿度传感器是以随高分子膜吸收或放出水份而引起电导率或电容变化测量环境相对湿度的装置。 电容式湿度传感器 五、高分子膜湿敏元件 2.检测电路 高分子膜湿度传感器的湿度特性 五、高分子膜湿敏元件 2.检测电路 五、高分子膜湿敏元件 3.电子湿度计的构成 用高分子膜湿度传感器构成的电子湿度计 它由检测部分、数字显示器和变换器等构成。 五、高分子膜湿敏元件 3.电子湿度计的构成 五、高分子膜湿敏元件 4.主要用途 由于电子湿度计测量范围广，故广泛应用于湿度监视、记录和控制等，尤其可用于普通湿度计难以测量的小于20％RH的湿度中。 湿度计使用在超过90％RH的高湿度区域中会出现结露。结露时，湿度传感器在沾湿间歇不能测量，一旦沾湿现象消失，恢复原来特性。 六、金属氧化物陶瓷湿敏元件 用金属氧化物系陶瓷材料制作的湿度传感器，具有耐久性好、测量范围广、价廉和易变换电信号等特点。 陶瓷湿度传感器是以稳定的Al2O3原料为主体湿敏体，用独特的陶瓷加热器作为清洗机构，组成了一个全固态器件，所以是一种小型、耐污垢、可靠性高的传感器。 六、金属氧化物陶瓷湿敏元件 把Al2O3为主体的金属氧化物多孔烧结体作为基体，利用其微粒结晶的表面感知