单向差分压力和双向差分压力传感器的测量.pdf

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单向差分压力和双向差分压力传感器的测量 摘要:在压力测量中,通常是根据测量要求来提出不同的物理测量方法,比如绝对压 力,相对压力 (表压)和差分压力的测量。然而对于差分压力的测量往往有许多不同的理 解。本文就以硅压阻压力传感器AMS 5812 作为例子来介绍有关各种压力测量的不同应用情 况。 P P 1 2 图1:压力传感器AMS 5812 外形和截面图 (Messzelle-硅压阻芯体) KERAMIK (keramik-陶瓷基座) (ASICs-信号处理电路) ASIC Messzelle (Lotanschluesse-连接头) Lötanschlüsse 一、 引言 在压力测量中,通常是根据测量要求来提出不同的物理测量方法,比如绝对压力,相 对压力(表压)和差分压力的测量。然而对于差分压力的测量往往有许多不同的理解。为了 较好的来理解不同的压力概念和不同的压力测量方法,这里借助于硅压阻压力芯体

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