离子掺杂TiO2基复合凝胶的相变及其薄膜湿敏特性的研究-材料学专业论文.docxVIP

摘 要 本工作采用溶胶－凝胶法分别制备了 Sn2+掺杂 TiO2、La3+掺杂 TiO2-20wt%SnO2 和 Ce3+掺杂 TiO2-20wt%SnO2 的氧化钛复合凝胶及薄膜，利用 X 射线衍射仪、差热－ 热重分析仪等测试手段，对 TiO2 复合凝胶的相变过程进行研究，同时对金红石的相 对含量和晶粒度进行分析，并对 TiO2 复合薄膜进行了湿敏特性测试，进一步探讨了 离子掺杂的作用机理。 研究结果表明，未掺杂的 TiO2 凝胶，非晶态在 400℃左右开始向锐钛矿转变，锐 钛矿在 500℃左右开始向金红石转变。Sn2+掺杂 TiO2 凝胶、La3+掺杂 TiO2-20wt%SnO2 凝胶，随着掺杂离子的增加，凝胶向锐钛矿的转变温度、锐钛矿向金红石的转变温度 以及 SnO2 的结晶温度均呈现先降低后增加再降低的变化趋势。 Ce3+ 掺杂 TiO2-20wt%SnO2 凝胶，随着掺杂离子增加，凝胶向锐钛矿的转变温度却呈现先增加 后降低再增加的变化趋势，而锐钛矿向金红石的转变温度呈现一直增加的趋势。 Sn2+、La3+、Ce3+掺杂抑制了锐钛矿和金红石的生长，且随掺杂量的增加，晶粒 度均逐渐减小。离子掺杂对凝胶向锐钛矿的转变和锐钛矿向金红石的转变具有非常的 复杂的作用。400℃烧结时，Sn2+、La3+和 Ce3+掺杂抑制了凝胶向锐钛矿的转变；500 ℃烧结时，Sn2+掺杂促进锐钛矿向金红石的转变，La3+掺杂对锐钛矿向金红石的转变 先抑制再促进后抑制的作用，Ce3+的掺杂对锐钛矿向金红石的转变起到先促进后抑制 的作用；600℃烧结时，Sn2+的掺杂对锐钛矿向金红石的转变起到先抑制后促进的作 用，La3+、Ce3+掺杂抑制了锐钛矿向金红石的转变。同时 La3+、Ce3+的掺杂促进了 SnO2 晶体的形成。 Sn2+、La3+、Ce3+的掺杂不同程度地降低了 TiO2 复合薄膜的电阻，改善了电阻－ 湿度关系的线性度，这种效果与 Sn2+、La3+、Ce3+掺杂降低锐钛矿和金红石的晶粒度， 在锐钛矿和金红石中引入晶体缺陷以及在薄膜中引入大量相界有关。 关键词：氧化钛；溶胶－凝胶；离子掺杂；相变；湿敏 Abstract Composite gels and thin films of Sn2+-doped TiO2, La3+/Ce3+-doped TiO2-20wt%SnO2 were prepared by the sol-gel method. The transformation process of composite gels was investigated by XRD, TG-DTA techniques, the relative content of rutile and granularity were analyzed. Besides, humidity sensing properties of thin films were tested, and the effect of ions doping were investigated. Experimental results show that, the transformation temperatures of gels to anatase appear at about 400 ℃ , and anatase to rutile at about 500 ℃ for pure TiO2. The transformation temperatures of gel to anatase and anatase to rutile first decrease and increase and then decrease with the increase of the ionic content for Sn2+-doped TiO2 and La3+-doped TiO2-20wt%SnO2. The transformation temperatures of gel to anatase first increase and decrease and then increase, and that of anatase to rutile always increase with an increase of the ionic content for Ce3+-doped TiO2-20wt%SnO2. Sn2+, La3+and Ce3+ doping restrained the growth of anatase and rutile, moreover, the granularity decreased with the i