离子掺杂TiO2基复合凝胶的相变及其薄膜湿敏特性的分析-材料学专业论文.docxVIP

目 录 第一章 绪 论 7 1.1 研究背景 7 1.2 TIO2 晶体结构 7 1.2.1 TiO2 的基本单元 7 1.2.2 锐钛矿与金红石 9 1.3 TIO2 的相变 10 1.3.1 颗粒尺度的影响 10 1.3.2 离子型物质掺杂的影响 10 1.3.3 氧化物掺杂的影响 11 1.4 纳米 TIO2 制备技术 14 1.4.1 制备技术的分类 14 1.4.2 溶胶－凝胶法概述 14 1.4.3 TiO2 粉体的制备工艺 16 1.4.4 TiO2 薄膜的制备工艺 17 1.5 湿度敏感材料 18 1.5.1 TiO2 基湿敏材料 19 1.5.2 TiO2-SnO2 湿敏材料 21 1.5.3 稀土掺杂湿敏材料 21 1.6 本研究课题的意义及目的 22 1.7 课题研究的内容和方法 22 第二章 试验过程 23 2.1 试验主要原料及设备 23 2.2 试验流程图 24 2.3 试样的制备 24 2.3.1 溶胶的制备 24 2.3.2 干凝胶的制备 26 2.3.3 粉体的制备 26 2.4 测试方法 26 2.4.1 热重－差热分析（TG-DTA） 26 2.4.2 X 射线衍射分析（XRD） 27 第三章 SN2+掺杂对 TIO2 凝胶相变的影响 29 3.1 热重－差热分析 29 3.2 X 衍射分析 31 3.2.1 金红石相对含量分析 33 3.2.2 晶粒尺度分析 34 3.3 机理分析 34 3.3.1 非晶态凝胶分析 34 3.3.2 Sn2+/Sn4+在 TiO2 凝胶和晶体中的作用 35 3.3.3 Sn2+/Sn4+对相变温度的影响 36 3.3.4 Sn2+/Sn4+对转化率的作用 36 3.3.5 锐钛矿晶粒和金红石晶粒的长大 37 3.4 本章小结 38 第四章 LA3+掺杂对 TIO2-20WT%SNO2 凝胶相变的影响 39 4.1 热重－差热分析 39 4.2 X 衍射分析 41 4.2.1 金红石相对含量分析 43 4.2.2 晶粒尺寸分析 43 4.3 机理分析 44 4.3.1 La3+在 TiO2 晶体中占据的位置 44 4.3.2 La3+对相变温度的影响 44 4.3.3 La3+对转化率的作用 45 4.3.4 锐钛矿晶粒和金红石晶粒的长大 46 4.4 本章小结 46 第五章 CE3+掺杂对 TIO2-20WT%SNO2 凝胶相变的影响 47 5.1 热重－差热分析 47 5.2 X 衍射分析 49 5.2.1 金红石相对含量分析 51 5.2.2 晶粒尺寸分析 51 5.3 机理分析 52 5.3.1 Ce3+在 TiO2 晶体中占据的位置 52 5.3.2 Ce3+对相变温度的影响 53 5.3.3 Ce3+对转化率的作用 53 5.3.4 锐钛矿晶粒和金红石晶粒的长大 54 5.4 本章小结 54 第六章 TIO2 基薄膜的制备及湿敏性能检测 55 6.1 薄膜传感器的制备流程图 55 6.2 电极的制备 55 6.3 TIO2 基薄膜的制备 56 6.3.1 溶胶的配置 56 6.3.2 薄膜的制备 56 6.3.3 薄膜的干燥与热处理 57 6.4 薄膜传感器的组装 57 6.5 电阻-湿度特性的测试 57 6.5.1 测试装置的制作 57 6.5.2 装置工作原理 58 6.6 机理分析 58 6.4.1 电极制备过程分析 58 6.4.2 薄膜制备过程分析 59 6.4.3 湿敏性能分析 59 6.7 本章小结 60 第七章 结论 61 参 考 文 献 63 致 谢 69 在读期间取得的科研成果 70 1 1 第一章 绪 论 1.1 研究背景 近年来纳米材料由于独特的物理化学性能引起科学家们的广泛兴趣[1,2]。纳米材 料的颗粒随着粒径的减小，比表面积增大，表面原子数增多及表面原子配位不饱和性 导致大量的悬链和不饱和链等，这就使纳米微粒具有高的表面活性。由于纳米微粒具 有大的比表面积，高的表面活性，及表面活性能与气氛性气体相互作用强等原因，纳 米微粒对周围环境十分敏感[1]。因此可以利用其电阻对环境湿度的显著变化，制成湿 敏传感器。 在众多的纳米材料中，TiO2 纳米材料由于其较好的稳定性、简单的制备工艺、无 毒和价廉，成为当前最有应用潜力的功能材料和环境净化材料。而其中，又因为湿度 与人类生产生活的紧密性，使纳米 TiO2 在湿度敏感方面更引起了人们很大的关注， 并且实际证明它还具有广阔的应用前景。 TiO2 晶体结构 1