超净实验室安全培训讲座.pptVIP

3）四氯化碳（CCl4）： 用途：溶解剂、灭火剂、农药。 性质：有毒、不易燃、易挥发、微溶于水，易溶于有机溶剂。 危害：有毒，具有刺激性，对中枢神经系统有麻醉作用。对环境有严重危害，对水体和大气可造成污染。 5 危险化学品：（2）强危险化学药品 （三）超净实验室安全管理规范 MOCVD：V族源（AsH3，PH3） III族源（TMAl，TMGa，TMIn，TEGa） 掺杂源：SiH4 ，DEZn 载气：H2 ICP：Cl2, BCl3, HBr, CH4, SF6, H2, O2, Ar, N PECVD：SiH4, NH3, CF4, N2O, O2, Ar, N MBE：As氧化（As2O3：砒霜 ） Photolithography：光刻胶 氢气房：H2 液氮 （三）超净实验室安全管理规范 5 危险化学品：（3）其它危险化学品 超净实验室内部和外部环廊都设有火灾、H2、和有毒气体探测监控报警系统。 如遇火灾、H2、有毒气体泄露等险情，应按“逃生路线图”指示说明，尽快撤离超净实验室。 撤离路线：在有门有玻璃窗的地方就近撤离。 6 紧急疏散 （三）超净实验室安全管理规范 7 逃生路线图 （三）超净实验室安全管理规范 外廊