多晶铸锭方坩埚喷涂及烧结-作业关键过程CTQ.docxVIP

多晶铸锭方坩埚喷涂及烧结 作业关键过程CTQ 一、工序说明 本工序是在坩埚内壁涂上氮化硅并烧结使粉状氮化硅形成致密层，防止高温下硅料和坩埚（SiO2）发生反应，增强氮化硅在坩埚上的附着力。形成的致密层抗冷热的冲击能力非常强，有效的转移铸锭工艺过程产生的热应力。最后卸锭时方便坩埚的脱落。烧结是使材料获得预期的显微结构以使材料性能充分发挥的关键工序。 二、工艺流程图 领 领取坩埚 坩埚检查 坩埚就位 涂料准备 喷枪准备 涂层检验 坩埚喷涂 坩埚烧结 三、所用设备 序号 设备类型 名称 型号 备注 1 主 坩埚旋转加热器 陕西咸阳华光HGZ-11 2 主 坩埚烘箱 陕西咸阳华光HGZ-12-12 3 主 喷枪 SATA 4 主 气枪 Prevost 5 主 电子天平称 0.01g 天津德安特 6 主 点温计 Nicety 7 主 强力搅拌机 JB-300 上海标马 8 辅 运输小车 飞腾不锈钢 四、工艺原辅料 序号 分类 名称 描述 1 主 坩埚 长、宽：873-882mm 高：415-420mm 底部壁厚：18.5-22.5mm 侧壁厚：14.5-18.5mm 2 主 氮化硅 0.375kg/个 3 辅 纯水 1600ml/个 4 辅 塑料桶 5 辅 磨石 6 辅 量筒 5000ml/3000ml 7 辅 瓷勺 8 辅 铁夹 9 辅