固结磨料研磨蓝宝石单晶过程中研磨液的作用-光学精密工程.pdf

第 卷 第 期 光学精密工程 棽棽 暋 棻棻 暋 斨旓旍棶棽棽暋斘旓棶棻棻 暋暋暋暋暋暋暋暋暋暋斚 旚旈斻旙斸旑斾斝旘斿斻旈旙旈旓旑斉旑旈旑斿斿旘旈旑 暋暋暋 暋暋暋 年 月 旔 旂 旂 棽棸棻棿 棻棻 暋 暋 暋暋斘旓旜棶棽棸棻棿 文章编号 棬 棭 暋棻棸棸棿灢椆棽棿斬棽棸棻棿棻棻灢棾棸棸棿灢棸椄 固结磨料研磨蓝宝石单晶过程中研磨液的作用 棳 棻棽 棻灣 棾 棻 棻 棳 棳 棳 棳 王建彬 朱永伟 谢春祥 徐 俊 居志兰 暋 棬 棳 椈 棻灡南京航空航天大学机电学院 江苏南京 棽棻棸棸棻椂 棳 椈 棽灡安徽工程大学机械与汽车工程学院 安徽芜湖 棽棿棻棸棸棸 棳 棭 棾灡上海航天控制技术研究所 上海 棽棸棸棽棾棾 椇 棳 暎 摘要 开展了固结磨料研磨单晶蓝宝石面板的实验研究 探索了不同研磨液对材料去除速率和工件表面质量的影响 分 棳 暎 椇 析了研磨液对蓝宝石表面的化学作用 探索了固结磨料研磨蓝宝石晶体的材料去除机理 实验显示 使用 斪棻棿镀镍金 棳 棳 棬 棭 棷 暍表面粗糙度棬 棭 刚石固结磨料研磨蓝宝石单晶 研磨液仅为去离子水时 材料去除率 斖斠斠 为 棻棿椆棶椄旑旐 旐旈旑 斸 为 椈 棳 棷 棳 暎用光电子能谱仪棬 棭分析 而研磨液中加入 的乙二醇后 相应的 为 为 椃椂棶棽旑旐 棽棩 斖斠斠 棽棽棿棶棻旑旐 旐旈旑 斸 椀棸棶椃旑旐 斬斝斢 棳 暎 椇 了工件表面 结果表明含有乙二醇的研磨液能够增加蓝宝石工件表面的活性 得到的结果显示 在溶液中加入乙二醇有 棳 利于表面软化层的生成并增加蓝宝石表面的活性 说明研磨液对蓝宝石单晶研磨效率的提升和表面质量的改善具有促 进作用暎 椇 椈 椈 椈 关 键 词 固结磨料 研磨液 乙二醇 蓝宝石晶片 暋 暋 中图分类号椇 椈 文献标识码椇 椇 棷 斚椃椄椂斣斘棾棸椀棶棽暋暋 斄暋暋斾旓旈棻棸棶棾椃椄椄斚斝斉棶棽棸棻棿棽棽棻棻棶棾棸棸棿 斠旓旍斿旓旀旙旍旛旘旘旈旑旙旈旑旍斿斻旘旙旚斸旍旙斸 旇旈旘斿旍斸