四极质谱计的氦氘分辨性能试验-核聚变与等离子体物理.pdf

第 32 卷 第 2 期 核 聚 变 与 等 离 子 体 物 理 Vol.32, No.2 2 0 1 2 年 6 月 Nuclear Fusion and Plasma Physics June 2012 文章编号：0254−6086(2012)02−0177−06 四极质谱计的氦氘分辨性能实验 黄向玫，曹 曾，蔡 潇，许正华 (核工业西南物理研究院，成都 610041) 摘 要：利用一套四极质谱气体分析与测试系统，开展 MicroVision Plus 四极质谱计的氦(He)、氘(D2)分辨性 + 能实验。分别向分析室送入 He 和 D ，记录质谱图，得到质量刻度和分辨率等信息。He 峰位为(4.0022±0.0006)amu ； 2 + −6 −4 D2 峰位为(4.0246±0.0006)amu。在 10 ～10 Pa 的分压范围，观察到 He 和 D2 的分辨率随其分压强的增大而减小。 −7 3 −1 + + −1 在 10 Pa⋅m ⋅s 的 He 漏孔条件下，调节 D 送气量，He /D 分压峰值比在 10 量级可以分辨出 He 。 2 2 关键词：氘；四极质谱计；分辨性能 中图分类号：TL62+8 文献标识码：A 1 引言 检漏的关键技术，利用一套四极质谱气体分析与测 核聚变装置设计、研制和实验运行所涉及的真 试系统开展了四极质谱计分辨 He 、D2 的实验研究。 空工程技术问题非常复杂，其中真空室和真空零部 件的检漏是关键的技术问题之一。国际热核聚变实 2 实验装置和实验方法 验堆 (ITER)是目前正在建造规模最大的托卡马克 2.1 实验装置 装置，将拥有聚变领域迄今为止最大最复杂的高真 四极质谱气体分析与测试系统如图 1 所示，主 空系统，在建成后用于氘、氚聚变反应研究。ITER 要由漏孔单元、供气系统、分析室和抽气系统组成。 实验运行过程中真空检漏所使用的示踪气体氦(He) 漏孔单元包括三个标准 He 漏孔，给真空室提供已 −7 −8 与氢同位素氘(D2)的质量数十分接近，检漏系统的 知漏率的进气量，漏率分别为 1.65×10 、1.59×10 −9 3 −1 灵敏度将受到真空室器壁所释放 D2 的严重干扰。 和 3.32×10 Pa⋅m ⋅s 。供气系统的气源通过稳压室 其最终设计报告(FDR)对装置的真空检漏系统进行 经过可精确控制气流量的微调阀接入分析室。分析 了专门设计，采用能够分辨 He 和 D2 的高分辨质 室为内径∅350mm 的双球形容器，对称型设计，中 谱