圆环驻波超声波马达振子的有限元分析及振型测试光学精密工程.pdf

第 6 卷　第 3 期 光学　精密工程 . 6, . 3 V o l N o 1998 年 6 月 O P T IC S AN D PR EC IS ION EN G IN EER IN G J un e, 1998 圆环驻波超声波马达振子的有限元 分析及振型测试 刘景全　　杨志刚　　吴博达　　程光明 ( 吉林工业大学机械工程系　　长春 130025) 　　摘要　采用有限元方法比较系统地分析了圆环驻波超声波马达振子弹性体的结 构尺寸对其固有频率的影响, 为设计和加工振子提供了理论依据; 通过有限元比较精确 地计算了马达振子B 14 振型的固有频率。经对振子试机的振型测试, 验证了有限元分析 的准确性。 关键词　　超声波马达　振子　有限元 1　引　　言 　　超声波马达是将压电元件的机械振动加以变换, 并借助摩擦而连续输出位移或旋转的驱 动机构。具有直接驱动、控制准确灵敏、可变化多种结构、不产生也不接受磁干扰等优点。因而 在高精密设备、仪器仪表等领域有较为广泛的应用价值[ 1- 3 ] 。 . 1　 . 2　 F ig St ru ctu re o f th e v ib rato r F ig B 14 v ib rat ion m ode o f th e v ib rato r 　国家自然科学基金资助项 目 收稿 日期: 1998- 0 1- 13 3 期 刘景全　等: 圆环驻波超声波马达振子的有限元分析及振型测试 　　　　　　　　　　　 57 　　圆环超声波马达以其薄而中空、轻小简单等优点引起了广泛关注。笔者提出了仅用一组压 [4 ] 电陶瓷激励带凸起的圆环, 使凸起顶部形成椭圆运动, 从而实现驱动的马达 。图 1 为文献[4 ] ( 所采用的振子。其驱动原理要求振子形成如图2 所示的B 14 振型 下角标 1 代表节圆数, 4 代表 ) 节径数 。该文献在设计振子结构尺寸和求解振子固有频率时, 采用了解析法。由于振子结构 复杂, 该文忽略了压电陶瓷和凸起的影响, 因而只能粗略计算振子的振动状态。本文在此基础 上采用有限元方法来分析振子。首先分析圆环尺寸; 之后分析振子弹性体, 即由圆环和凸起构 成; 最后分析压电振子。振子弹性体的材料为45# 钢, 压电陶瓷为PZT 42 型, 边界条件均为自 由。 2　圆环尺寸对圆环固有频率的影响 　　圆环的形状是由外半径 a , 内半径b 及厚度h 1 决定。首先分析ba 对圆环固有频率的影响。 a 取25 , h 1 取2 , ba 分别取 0, 0. 1, 0. 2, 0. 3, 0. 4, 0. 5, 0. 6, 0. 7, 0. 8, 0. 9。对应建立有限 mm mm 元模型。图3 为有限元分析圆环的一个模型。计算结果如图4 所示。由图可知, 当ba 在 0 到 0. 5 之间时, 曲线呈下降趋势; ba 在 0. 5 到 0. 9 之间时, 曲线呈上升趋势。对圆环超声波马达 而言, ba 选在 0. 3 到 0. 7 之间为宜。本文 ba 取 0. 4。 . 3　 . 4