原子力显微术轮廓仪的新方法研究及系统研制.pdf

浙江大学硕：I‘论文 第一章绪论 §1．1纳米科技概述 §1．1．1纳米科技的概念 子和其他类型物质运动和变化的科学，而在同样范围尺度内对原子、分子等进行操纵和 加工的技术则为纳米技术。纳米材料又称为超微颗粒材料，由纳米粒子组成。纳米粒子 也叫超微颗粒，一般是指尺寸在1～lOOnm问的粒子，是处在原子簇和宏观物体交界 的过渡区域。从通常的关于微观和宏观的观点看，这样的系统既非典型的微观系统亦非 典型的宏观系统，它具有表面效应、小尺寸效应和宏观量子隧道效应。当人们将宏观物 体细分成超微颗粒(纳米级)后，它将显示出许多奇异的特性，即它的光学、热学、电 学、磁学、力学以及化学方面的性质和大块固体时相比将会有显著的不同。1900年，德 国物理学家普朗克提出了量子理论；1959年，理论物理学家查德·费曼首次提出纳米技 微镜(STM)11J；1986年，原子力显微镜(AFM)I列诞生。 纳米科技是-fl多学科交叉的基础研究，也是一项与应用开发紧密联系的高新技 术。它主要包括7个部分：纳米物理学、纳米化学、纳米生物学、纳米材料学、纳米电 子学、纳米加工学、纳米测量学。纳米已不仪仅是～个空间尺度上的概念，而且是一种 新的思维方式，即生产过程越来越细，以至于在纳米尺度上直接由原子、分子的排布制 造具有特定功能的产品。 随着科技的发展、媒体的宣传，纳米这个概念已经深入人心。人们对纳米科技最直 接的认识就是生活中的纳米材料，包括纳米微粉材料、纳米微粉制成的材料和纳米微结 构材料13】。据科学家预测，2l世纪前20年，以纳米材料为核心的纳米科技将成为主导 技术。由于纳米科技对国家未来战略的重大影响，美、f{；_l、英、德、法等发达国家都投 入大量人力、物力和财力进行该领域的研究和产业化。例如美国2000年2月宣布启动 “国家纳米科技计划(NNI)”，在2001年财政年度拨款4．95亿美元以加强研究实力。 我国在纳米科技领域的研究起步较早，基本上与国际发展同步，经过近20年的努力， 我国已经初步具备开展纳米科技的研究条件，形成了一支研究队伍。近年来，我国在纳 浙江大学硕士论文 米材料与技术的基础研究领域取得了一些国际领先的成果。这些都为实现跨越式发展提 供了可能。 §1．1．2纳米科技的应用领域 纳米科技飞速发展，已经在人们的生产生活中多个领域中有着广泛的应用，下面介 绍一下它在儿个主要领域中的应用。 1、在生物工程中的应用 众所周知，分子是保持物质化学性质不变的最小单位。生物分子是很好的信息处理 材料，每一个生物大分子本身就是一个微型处理器，分子在运动过程中以可预测方式进 行状态变化，其原理类似于计算机的逻辑开关，利用该特性并结合纳米技术，可以此来 设计量予讨。算机。美国南加州大学的Adelman博士等应用基于DNA分子计算技术的生 物实验方法，有效地解决了目前计算机无法解决的问题“哈密顿路径问题”，使人们对 生物材料的信息处理功能和生物分子的引算技术有了进‘步的认识。 2、在微电子领域中的应用 纳米电子学是以电子波动性为理论基础的学科，是纳米科技的重要组成部分，也是 纳米技术发展的主要动力h目前，把电子作为波动处理的纳米电子器件已经研制成功， 这种器件具有更快(超高速)、更小(超微型)、更冷(微功耗)的特点。应用纳米电子技术可 以用单个原子制造开关、单电子逻辑部件等。这种器件不像传统晶体管那样控制群电子 的运动状态，而是能做到控制单个电子的运动状态，只要控制单个电子的运动状态就可 以实现某种效应。国际上已经有许多这方面伟大的成就。1989年，IBM公司的科学家 利用隧道扫描显微镜上的探针，成功地移动了氙原子，并利用它拼成了IBM三个字母。 兀本的Hitachi公司成功研制出单个电子晶体管，它通过控制单个电子运动状态完成特 定功能，即一个电子就是一个具有多功能的器件。另外，只本的NEC研究所已经搠有 制作100nm以下的精细量子线结构技术，并在GaAs衬底上，成功制作了具有开关功能 的量子点阵列。目前，美国己研制成功尺寸只有4nm具有开关特性的纳米器件，由激光 驱动，并且开、关速度很快。 3、在机械领域中的应用 纳米机械学是--fq具有巨大发展潜力的纳米技术科学。1986年，著名科学家和技术 2