碳化硅表面硅改性层的特性研究.pdf

激光与光电子学进展 ， （ ） 犔犪狊犲狉牔犗狋狅犲犾犲犮狋狉狅狀犻犮狊犘狉狅狉犲狊狊 Ｃ 《中国激光》杂志社 ４９０３２２０２２０１２ 狆 犵 ○２０１２ 碳化硅表面硅改性层的特性研究 张 峰 范 镝 高劲松 　 　 　 　 （中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 光学系统先进制造技术重点实验室，吉林 长春 １３００３３） 摘要 为了获得具有高质量光学表面的非球面碳化硅反射镜，需对碳化硅反射镜表面进行改性。介绍了离子束辅 　 助沉积硅的碳化硅表面改性技术。对改性样片表面硅改性层的机械性能、光学加工性、表面粗糙度及反射率等特 性进行研究。实验结果表明，碳化硅表面的硅改性层具有优良的机械性能和良好的光学加工性。光学抛光后，碳 化硅表面硅改性层的表面粗糙度为 ［均方根（ ）值］，在可见光波段反射率最高可达 （镀银反射 ０．８５ｎｍ ＲＭＳ ９８．５％ 膜）。采用数控加工方法对口径为Ф６００ｍｍ的表面改性离轴非球面碳化硅反射镜进行加工，最终反射镜面形精度 的 值达到 （ ），满足高精度空间非球面反射镜的技术指标要求。 ＲＭＳ ０．０１８ ＝０．６３２８ ｍ λλ μ 关键词 光学表面；碳化硅；表面改性；离子束辅助沉积；表面粗糙度；表面反射率 　 中图分类号 文献标识码 ： ／ Ｏ４３６ Ａ 犱狅犻１０．３７８８犔犗犘４９．０３２２０２ 　 　　　 　 　　　 犛狋狌犱 狅狀犆犺犪狉犪犮狋犲狉犻狊狋犻犮狊狅犳犛犻犾犻犮狅狀犕狅犱犻犳犻犮犪狋犻狅狀犔犪犲狉狅狀 狔 狔 犛犻犾犻犮狅狀犆犪狉犫犻犱犲犛狌狉犳犪犮犲 犣犺犪狀 犉犲狀 犉犪狀犇犻 犌犪狅犑犻狀狊狅狀 犵 犵　 　 犵 （ ， ， 犓犲 犔犪犫狅狉犪狋狅狉 狅犗狋犻犮犪犾犛狊狋犲犿犃犱狏犪狀犮犲犱犕犪狀狌犪犮狋狌狉犻狀 犜犲犮犺狀狅犾狅 犆犺犪狀犮犺狌狀犐狀狊狋犻狋狌狋犲狅犗狋犻犮狊 狔 狔 犳 狆 狔 犳 犵 犵狔 犵 犳 狆 ， ， ， ， ） 犉犻狀犲犕犲犮犺犪狀犻犮狊犪狀犱犘犺狊犻犮狊 犆犺犻狀犲狊犲犃犮犪犱犲犿 狅犛犮犻犲狀犮犲狊 犆犺犪狀犮犺狌狀 犑犻犾犻狀１３００３３ 犆犺犻狀犪 狔 狔 犳 犵 （ ） ， 犃犫狊狋狉犪犮狋 犐狀狅狉犱犲狉狋狅犪犮犺犻犲狏犲犺犻犺 狌犪犾犻狋狅狋犻犮犪犾犪狊犺犲狉犻犮狊犻犾犻犮狅狀犮犪狉犫犻犱犲 犛犻犆 犿犻狉狉狅狉 狋犺犲犛犻犆狊狌狉犳犪犮犲犿狌狊狋犫犲 　 犵 狇 狔 狆