拉晶工艺指导书.doc

PAGE PAGE 28 拉 晶 工 艺 指 导 书 一、有关说明 （一）、 晶体直径 坩埚转动（连续可调） 1 - 30 rpm 液压缸行程 加热功率 最大 140 kW - 加热电压 0 – 60 Volt - 加热电流 最大 2,300 Amp 熔化温度 最大 1, 主炉室真空泵抽速 - 滑阀泵(主泵) 大约 70 - 旋片泵(副泵) 大约 15 冷态空炉子的极限真空度 ≤ 3 Pa 冷态炉子的泄漏率（压升法） 最大 0.3 Pa/min 允许工作正压 不带泵和走道的空间要求 总设备高度 外围设施 - 冷却水消耗量 最小 20 m3 - 冷却水压力 绝对压力 最小 1.5 kg/cm 最大 2.0 kg/c - 绝对压力 最大 1.5 kg/cm2 - 冷却水进水温度 最小 20 °C 最大 25 冷却水质量 - pH值 7 - 9 - 电阻 104-106 Ohm. cm - 硬度 8 ° d - Fe+离子 0.1 ppm - Cl-离子 10 ppm 备注：冷却水必须过滤，以便过滤脏物和有机悬浮颗粒，否则可能堵塞回路和产生局部沉淀。详细 信息请参阅PW 800 943 NE 或 ND。 氩气消耗 最大 100 Sl/min - 氩气压力，绝对值 最大 2.0 kg/cm - 氩气纯度 ＞99.999％ 电源 380 V + 10%, - 频率 50 Hz - 容量 大约 190 kVA - 保险 3 x 500 Amp. 备注：建议用户在厂房的电网配置中为每台设备提供单独的配电柜（盘），配电柜内至少有两个空气开关（断路器），一个用于加热电源与电网的隔离，一个用于控制柜与电网的隔离。 （二）、产品质量要求 根据客户要求进行生产。 如：1、电阻率控制范围：0.5~6Ω·cm。 2、无位错缺陷即小于等于100/cm2。 3、氧、碳含量要求：O含量≤1.0×1018cm-3、C含量≤5.0×1016cm-3 （三）、产品在生产周转中的标号： 1、产品牌号标示参照国家有关标准： CZ—Si—P(B)—100为直拉法制造的P型单晶硅，掺杂剂为硼，晶向为100 （四）、工具 序号 类别 名称 用途 备注 1 工具 碳素笔 生产记录 通用 记录本 生产数据记录 企业标准 热系统周转车 热系统周转工具 自制 接晶盘 小头、提杂周转工具 自制 接晶筒 产品周转工具 自制 托杆丁字扳手 石墨件工具 设备配送 导六筒挂钩 石墨件工具 自制 埚底料周转盆 埚底料周转工具 不锈钢盆子 毛刷 清炉工具 通用 副室清理长杆 清炉工具 自制 锉子 石墨件清理工具 通用(金刚锉) 沙纸 清炉\石墨件清理工具 通用(粗\细) 测径仪 拉晶工具 设备提供商定 镊子 拉晶工具 通用 钳子 拉晶工具 通用(克丝、斜口) 扳手 拉晶工具 开口、活动、内六方 装料/周转料车 装料用具 定制 剪子 拉晶工具 通用 耔晶存放盒 拉晶用具 塑料制品 角磨机 清炉工具 通用 金刚石磨片 清炉工具 通用 手枪钻 清炉工具 通用 2 劳保 汗布手套 装炉用 纯棉制品 布线手套 清炉用 纯棉制品 薄膜手套 装料 医用塑料 防尘服 装料 医用 口罩 装料 医用 帽子 装料 医用 工作鞋 拉晶车间专用 胶底 石棉手套 清炉用具 耐高温、不掉渣 毛巾或棉布 清炉用具 纯棉 肥皂、洗衣粉等 清炉用具 日化用品 3 辅材 无水乙醇 清理用 分析纯 丙酮 清理用 分析纯 （五）化学试剂说明 1、无水乙醇 规格用量：用分析纯，广泛用于生产中的各个环节，用量相对较大，可以购置大瓶装。 危害程度：（1）急性中毒多发生于口服，严重时可导致呼吸停止； （2）慢性影响:在生产中长期接触高浓度本品可导致轻微头痛、头晕、疲乏、恶心等症状。 防护措施：穿戴好工作服、口罩、手套即可，工作常说严禁烟火。 2、丙酮 规格用量：用分析纯，主要用作出去设备、部件附着的油污，但不能直接用来处理橡胶件，用量相对较小。 危害程度：急性中毒主要表现为对中枢神经系统的麻醉作用，长期接触该品会出现眩晕、乏力等症状；具有腐蚀性，皮肤长期接触可导致皮炎。 防护措施：穿戴好工作服、口罩、手套即可，避免长期反复接触，工作常说严禁烟火。 3、防护通则 坚持个人卫生是防护个人身体健康的一个有效手段，应常