SU8200场发射扫描电镜技术说明文件剖析.docVIP

PAGE SU8200场发射扫描电镜技术说明文件 一、二次电子分辨率： 0.8 nm (加速电压 15 kV，工作距离4 1.1 nm (着陆电压 1 kV，工作距离1.5 mm)( 以上分辨率的测试都是基于日立电镜的分辨率测试标样（蒸金磁带样品，蒸金碳样品） 二、放大倍率： 低倍模式： ?20 到 ?2k 高倍模式： ?100 到 ?1000k 三、电子光学： 电子枪： 冷场发射电子枪（带有柔性flash功能） 加速电压: 0.5 到 30 kV 着陆电压: 0.01到 2 kV 透镜系统 三级电磁透镜系统 物镜光阑 四孔可调光阑(内置加热自清洁功能) 扫描线圈 二级电磁式偏转线圈（高倍模式） 一级电磁式偏转线圈（低倍模式） 消像散器 八级电磁系统（X，Y） 探测器： 低位（Lower）、高位（Upper）、和顶位（Top）三种探测器进行二次电子/背散射电子的接收 能谱系统 (选配) 束闸 电磁型 电位移： ?12 ?m (工作距离 注意：工作距离改变时，电位移范围会改变 四、样品室和样品台： 样品台控制： 五轴马达台 可移动范围和样品尺寸： SU8220 SU8230 SU8240 X 0 ~ 5 0 ~ 11 0 ~ 11 Y 0 ~ 5 0 ~ 11 0 ~ 8 Z