非局部因子和表面效应对微纳米材料振动特性的影响-应用数学和力学.pdf

摇 , 34 1 Applied Mathematics and Mechanics摇 摇 2013年1月15 日出版 摇 摇 摇 摇 摇 摇 摇 摇 摇 摇 摇 摇 摇 摇 摇 摇 摇 Vol.34,No.1,Jan.15,2013 文章编号:1000鄄0887(2013)01鄄0010鄄08 訫 应用数学和力学编委会,ISSN 1000鄄0887 非局部因子和表面效应对微纳米材料 振动特性的影响* 1 1,2 徐晓建 邓子辰 ,摇 (1.西北工业大学 工程力学系,西安710129; 2.大连理工大学 工业装备结构分析国家重点实验室,辽宁 大连 116024) (我刊编委邓子辰来稿) 摘要:摇 基于非局部理论和表面效应模型,导出表面吸附物对微纳米材料的动力学方程,研究非局 部因子和表面能对微纳米传感器振动特性的影响.结果显示,非局部因子、表面能、吸附物种类、附 加刚度和基底种类对微纳米结构的振动特性有重要影响. 关摇 键摇 词:摇 微纳米机电系统(MEMS/ NEMS)传感器;摇 非局部理论;摇 表面效应;摇 振动特性; 原子/ 分子吸附 中图分类号:摇 TB123;TB34;O326;O485摇 摇 摇 文献标志码:摇 A DOI:10.3879/ j.issn.1000鄄0887.2013.01.002 引摇 摇 言 微纳米机电系统(MEMS/ NEMS)具有高灵敏度、快速准确等特点,它已广泛应用于物理、 [1鄄3] 化学和生物等领域,如传感器、制动器等 . 因此,对微纳米材料振动特性的研究尤为重要.近 年来,很多理论和实验工作都在开展,研究者认为物理和化学相互作用,如van der Waals力、 [4鄄7] 静电力和水合力等,对微纳米材料的物理和振动特性有重要影响 . 目前有两种通用方法测 量由吸附引起的表面能的改变,一种是静位移测量[4鄄5,8鄄10] ,另一种是受附加吸附物的质量和表 面弹性能引起振动频率的测量[6鄄7,11鄄12].Hagan等首次提出理论模型描述实验中得到的数据并 得到令人满意的理论解释,该模型突出的特点是把梁的变形能和吸附分子间的相互作用考虑 [4] 在内 .随后,Dareing等采用这一多尺度模型,考虑吸附原子间的相互作用对微纳米梁静位移 [5] 的影响 .Huang等采用多尺度模型研究了原子吸附对微纳米梁振动特性的影响,并指出原子 [7] 间相互作用对微纳米梁振动频率的偏移影响很大 .近年来,对于原子(分子)吸附问题的理 论研究处于不断的发展和改进中,大多数研究者认为连续介质力学模型能预测 MEMS/ NEMS * 收稿日期:摇 2012鄄05鄄14;修订日期:摇 2012鄄11鄄22 基金项目:摇 国家基础研究计划973 基金资助项目(2011CB610300);111 引智计划基金资助项目 (B07050);国家自然科学基金资助项目11172239;高校博士点基 金资助项目(20106102110019);大连理工大学工业装备结构分析国家重点实验室开放基 金资助项目(GZ0802) 作者简介:摇 徐晓建(1986—),男,河南夏邑人,博士生(E鄄mail:xuxiaojian@mail.nwpu.edu.cn);