现代加工技术-10化学加工-PPT文档资料.pptVIP

化学加工;课程内容大纲;基本概念;本讲内容;一、化学蚀刻加工;化学刻蚀加工的特点;化学刻蚀加工的特点;2.化学铣削工艺过程;（1）涂覆;（2）刻形或划线;化学蚀刻样件;二、光化学腐蚀加工;1．照相制版的原理和工艺;流程图;（1）原图和照相;（2）金属版和感光胶的涂覆;（3）曝光、显影和坚膜;照相制版曝光、显影示意图;（4）固化;（5）腐蚀;钻蚀;侧壁保护腐蚀机理; 例如腐蚀锌版，其保护剂是由磺化蓖麻油等主要成分组成。 　　腐蚀铜版的保护剂由乙烯基硫脲和二硫化甲脒组成，在三氯化铁腐蚀液中腐蚀铜版时，能产生一层白色氧化层，可起到保护侧壁的作用。; 　　　另一种保护侧壁的方法是有粉腐蚀法，其原理是把松香粉刷嵌在腐蚀露出的图形侧壁上，加温熔化后松香粉附于侧壁表面，也能起到保护侧壁的作用。此法需重复许多次才能腐蚀到所要求的深度，操作比较费事，但???备要求简单。;2.光刻加工的原理和工艺;(2）光刻的工艺过程;1)原图和掩模版的制备 ;掩膜版制备　; 2)涂覆光致抗蚀剂 ;3)曝光 ;4)腐蚀 ;5)去胶 ;光化学蚀刻样件;三、化学抛光;1.化学抛光的原理和特点;化学抛光的特点;2.化学抛光的工艺要求及应用;化学抛光样件;化学抛光样件;四、化学镀膜;1.化学镀膜的原理和特点;2.化学镀膜的工艺要点及应用;化学镀样件