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Academic Seminar 第三章 电感式传感器 指纹识别传感器 电容式指纹识别传感器 指纹识别目前最常用的是电容式传感器，也被称为第二代指纹识别系统。 下图为指纹经过处理后的成像图： 电容式指纹识别传感器 电容式指纹识别传感器 指纹识别所需电容传感器包含一个大约有数万个金属导体的阵列，其外面是一层绝缘的表面 电容式指纹识别传感器 当用户的手指放在上面时，金属导体阵列/绝缘物/皮肤就构成了相应的小电容器阵列。它们的电容值随着脊（近的）和沟（远的）与金属导体之间的距离不同而变化。 电容式指纹识别传感器 它的优点： 体积小 成本低 成像精度高 耗电量很小，因此非常适合在消费类电子产品中使用。 4.1 电容传感器原理 4.1 电容传感器原理 平行板电容器的电容为： 4.2 电容传感器分类 4.2.1 极距式电容传感器 当传感器的εr和A为常数,初始极距为δ0时,由式(4-1)可知其初始电容量C0为 4.2.1 极距式电容传感器 由式（4-3）可知, 传感器的输出特性C = f (δ)不是线性关系,而是双曲线关系 此时C1与Δδ近似呈线性关系, 所以变极距型电容式感器只有在Δδ / δ0很小时, 才有近似的线性输出 4.2.1 极距式电容传感器 另外, 由式（4 - 3）可以看出, 在δ0较小时, 对于同样的Δδ变化所引起的ΔC可以增大, 从而使传感器灵敏度提高。 但δ0过小, 容易引起电容器击穿或短路。 为此, 极板间可采用高介电常数的材料（云母、塑料膜等）作介质 4.2.1 极距式电容传感器 此时电容C变为: 4.2.1 极距式电容传感器 式中: εg—云母的相对介电常数,εg= 7 ε0—空气的介电常数, ε0= 1 d0—空气隙厚度  dg—云母片的厚度 4.2.1 极距式电容传感器 云母片的相对介电常数是空气的7倍, 其击穿电压不小于1000kV/mm, 而空气的仅为3kV/mm。因此有了云母片, 极板间起始距离可大大减小。 同时, 式（4-4）中的(dg/ε0εg)项是恒定值, 它能使传感器的输出特性的线性度得到改善。 4.2.1 极距式电容传感器 一般变极板间距离电容式传感器 起始电容在 20～100pF之间, 极板间距离在25～200μm的范围内, 最大位移应小于间距的1/10, 故在微位移测量中应用最广 4.2.2 变面积型电容式传感器 改变极板间覆盖面积的电容式传感器，常用的有角位移型和线位移型两种。 图为典型的角位移型电容式传感器 当动板有一转角时，与定板之间相互覆盖的面积就发生变化，因而导致电容量变化。 4.2.2 变面积型电容式传感器 4.2.2 变面积型电容式传感器 线位移型电容式传感器 平面线位移型和圆柱线位移型两种。 4.2.3 变介电常数型电容传感器 变介电常数型电容传感器的结构原理如图所示 4.2.3 变介电常数型电容传感器 这种传感器大多用于测量电介质的厚度(图a)、位移(图b)、液位(图c) 还可根据极板间介质的介电常数随温度、湿度、容量改变而改变来测量温度、湿度、容量(图d)等。 4.3 电容式传感器的常用测量电路 用于电容式传感器的测量电路很多,常见的电路有: 4.3.1 调频测量电路 调频测量电路把电容式传感器作为振荡器谐振回路的一部分。当输入量导致电容量发生变化时, 振荡器的振荡频率就发生变化。 4.3.1 调频测量电路 虽然可将频率作为测量系统的输出量, 用以判断被测非电量的大小, 但此时系统是非线性的, 不易校正 因此加入鉴频器, 将频率的变化转换为振幅的变化, 经过放大就可以用仪器指示或记录仪记录下来 调频测量电路原理框图如图所示： 4.3.1 调频测量电路 4.3.1 调频测量电路 调频电容传感器测量电路具有较高灵敏度, 可以测至0.01μm级位移变化量 频率输出易于用数字仪器测量和与计算机通讯, 抗干扰能力强, 可以发送、接收以实现遥测遥控 4.3.2 运算放大器式测量电路 运算放大器的放大倍数K非常大, 而且输入阻抗Zi很高。运算放大器的这一特点可以使其作为电容式传感器的比较理想的测量电路。 4.4 电容传感器应用 电容式传感器可用来测量直线位移、角位移、振动振幅，尤其适合测量高频振动振幅、精密轴系回转精度、加速度等机械量。 变极距型的适用于较小位移的测量，量程在0.01m至数百微米、精度可达0.01m 、分辨率可达0.001m。 变面积型的能测量量程为零点几毫米至数百毫米之间、线性优于0.5%、分辨率为0.01～较大的位移，0.001m 。 4.4 电容传感器应用 电容式角度和角位移传感器的动态范围为 0.1″至几十度，分辨率约0.1″，零位稳定性可达角秒级，广泛用于精密测角，如