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防靜電基礎知識 一.??? 靜電產生的原理 : ? 1. 摩擦: 絕緣體之間磨擦而產生靜電 ? A B? 2.傳導: 電荷的轉移, 示意圖如下:?  A B電量相等電荷轉移?? 3. 感應: 帶有靜電的物體在電場的作用下使另一個物體也帶有靜電, 示意圖如下: A B 靜電感應只對導體和半導體才有作用. 二. 靜電電荷產生的種類: 1>. 摩擦 2>. 分離 3>. 電場感應 4>. 傳導 三.靜電電荷對微電子工業的影響: 1. 微粒污染: 在潔凈室裏,靜電是使直徑在0.1~1.0微米 之間的顆粒沉積的主要原因. 當芯片帶有靜電后就很容易沉積灰塵. 2. ESD(ESD中文意思是靜電電壓放電)失效: 靜電放電時當放電電流過大, 產生過高熱能, 將會擊穿集成電路內部線路. 3. 三種擊穿現象: 1>. 熱擊穿: P-N破壞 2>. 介電擊穿: 氧化層的破壞 3>. 金屬汽化: 金屬線被汽化而開路 四.半導體的靜電敏感度: 靜電放電的三種型式: 1. 人體型式: 當人體活動時身體和衣服之間摩擦產生靜電, 若不及時將靜電 釋放給大地, 而直接把靜電轉移給ESD敏感裝置而造成損壞. 2. 微電子器件帶電型式: 在自動化生產過程中, 一些塑料器件因摩擦產生靜 電, 通過ESD敏感裝置接觸, 造成損壞. 3.場感應型式: 在有強電場圍繞時, 能通過感應方法損壞ESD敏感裝置 . 靜電電荷的消除原理: 1. 接地: 將導體材料接通大地, 把靜電電荷傳導到大地. 2. 離子中和: 用離子發生設備產生離子, 來中和物體表面所帶靜電荷. 3. 屏蔽: 用高導電性材料做成屏蔽層, 使ESD敏感裝置不受外界靜電場損壞. 一.??? ESD等級分類及控制程序：1.ESD等級分類: 2. ESD失效的潛伏性: 有時ESD並沒有把半導體完全破壞, 而只把元件某部分的品質降低. 從事ESD敏感半導體等行業應留意以下幾點: 1). [潛伏性的ESD問題]: 在任何場合都會發生; 2). [潛伏性的ESD問題]: 將會累積起來加深其損壞的嚴重性 ; 3). [潛伏性的ESD問題]: 在運送ESD敏感性元件, 更加無法估計其產生的可能性; 4). [潛伏性的ESD問題]: 不只是影響成品用家, 也會影響各層制造商的維修費及聲譽; 5). [潛伏性的ESD問題]: 目前還沒有辦法把此問題的產品全部找出來. 八、 名词解释： 1、ESD-Electrostatic discharge-静电释放,即静电电荷在不同电势的物品或表面之间转移的过程. 2、EOS-Electrostatic Overstress-静电损伤,即器件接受静电释放时,其特性产生变化,通常性能变差,但未完全失效. 3、ESDS-ESD Sensitivity Susceptivility-静电敏感性（度），衡量一个器件对静电破坏所能感受的程度，即其特性在不同的静电水准下改变多少. 4、Antistatic-指材料阻止磨擦起电的性能，在本文中，防静电材料通常其磨擦起电的静电电压低于±200Volts. 5、Electrostatic Shielding-静电屏蔽，设置在物体周围的导体屏障以排出外电场的影响. 6、Conductive Material-导电性材料，在本文中，这种材料的表面电阻率低于10E-5Ω，M或体积电阻率低于10E-4Ω.m. 7、In sulative Material-绝缘材料,在本文中,这种材料的表面电阻率大于10E5Ω.M,或体积电阻率大于10E-4Ω.M. 8、Equipment Ground-设备接地,电气设备与硬地电极之间的低阻抗通路.通常为电源插座的第三端. 9、ESD Ground-静电接地,由导体所组成的电极,金属带,金属棒等,用来构成连接带有静电电荷的人或物体与大地之间通路. 10、Tribo-electric Charging-磨擦起电,当两个最初接触的物体(一方或变方均为绝缘体)分离时而产生静电电荷积累. 11、