晶体生长科学与技术5(9-10节课).ppt

晶体生长过程中的放肩阶段 应用能量守恒方程对晶体生长过程中的放肩阶段进行分析； 保持拉速V不变的情况下，晶体的直径不是均匀增加，而是开始较慢，随后就迅速增加； 由方程A=(QS-QL)/LVρS，可见，QS是单位时间内通过晶体耗散于环境中的热量，由两部分组成，一部分沿着提拉轴耗散于水冷籽晶杆中，近似认为B1；另一部分，通过肩部的圆锥面耗散，大小比例于圆锥面积，设比例系数为B2，如图； 晶体生长过程中的放肩阶段 如图，可以推知圆锥面积为πr2/sinθ，θ是放肩角； 所以有总的热损耗QS= B1+B2r2 方程(1)； 假设放肩过程中GL不变，则有QL=B3r2 方程(2)； 放肩过程中dt时间内凝固晶体质量为：dm=(πr2dz+2πrdrH)ρS，H为锥环的等效厚度； 所以，由上式可得晶体生长单位时间内凝固的质量： dm/dt=(πr2dz/dt+2πrdr/dtH)ρS =(πr2V+2πrdr/dtH)ρS, 方程(3), 其中dz/dt=V，为晶体生长速率； 晶体生长过程中的放肩阶段 把方程(1)、(2)、(3)代入固-液界面处能量守恒方程： Lm=QS-QL=AKSGS-AKLGL，并合并常数项目，可得： r2=k1exp(2k2t)-k3/k4 可见，在拉速V和熔体中温度梯度不变的情况下，肩部面积随时间按指数律增加； 这是因为，随着晶体生长，肩部的面积增加，导致热损耗增强，而由前面方程分析可以知道，热损耗增强又可以促进晶体直径的增加； 所以，在晶体生长放肩阶段，要充分、提前考虑到肩部自发增长的倾向，否则一旦超过预定的等径生长直径，再通过提高熔体温度，增强QL来在收肩阶段(转入等径生长)的过程中就容易出现直径大小不同的“葫芦”状，影响晶体的生长和质量； 一个常用的减轻放肩过程中的直径自发增长倾向的手段是降低放肩角θ，从而降低肩部面积随晶体直径增长的速率，更好地控制热损耗，使收肩过程容易控制； 晶体旋转对直径的影响 晶体生长过程中旋转的必要性： 旋转能搅拌熔体，有利于熔体中溶质量均匀混合； 旋转增加了熔体中温场相对于晶体的对称性，这样在不对称的温场中也能长出几何形状对称的晶体； 旋转可以通过改变熔体中的温场来控制固液界面的形状； 应用能量守恒方程讨论旋转对晶体直径的影响 假设晶体以角速度ω旋转以及固-液界面是平面； 固-液界面邻近的熔体由于粘滞力的作用被带着旋转，这些旋转着的流体在离心力作用下被摔出去； 此时，固-液界面下部的流体将沿着轴向上流向固-液界面来填补被甩出去的流体导致的空隙，作用原理类似于离心抽水机； 由于直拉法生长中熔体内的温度梯度矢量是向下的，所以熔体中离界面越远处温度越高，因此由于晶体旋转引起的这部分流体会携带更多的热量； 角速度ω越大，流向界面处的流体数量越多，导致传输到固-液界面处的热量也越多，也即QL增大； 根据前面能量守恒方程A=(QS-QL)/LVρS，可见QL增大会导致晶体直径的减小； 能量守恒的微分形式和一维稳态温场 前面介绍了根据实验测量，描述晶体生长系统中温场的方法； 介绍了从能量守恒方程定性地讨论了晶体生长中的若干工艺问题； 目的： 希望通过理论分析求出其中温场，对温度分布、等温面、温度梯度以及热流情况给出较为严格的数学描述； 根据这些分析对生长实践中的某些问题给予较为定量的说明； 温场的数学描述 假定温场的分布函数T(x, y, z)已知，则可得到系统中任何一点(x0, y0, z0)处的温度为T(x0, y0, z0)； 那么对应于温度为T(x0, y0, z0)的等温面方程则为： T(x, y, z)=T(x0, y0, z0)； 作为一个特例，由于固-液界面是温度等于凝固点Tm的等温面，所以固-液界面的曲面方程为： T(x, y, z)=Tm； 如果Ti (i=1,2…..)是一个温度序列，则空间等温面族方程可以描述为： T(x, y, z)=Ti ，(i=1,2…..)； 温场的数学描述 温场(x, y, z)处的温度梯度可以表示为： ▽T(x, y, z)= ?T/?x i+?T/?y j+?T/?z k; 式中i，j，k是直角坐标系中三坐标轴的单位矢量； 温度沿某给定方向l(cosα, cosβ, cosγ)的变率，则可由温度梯度矢量▽T与方向矢量 l的点乘积表示，即： ?T/?l= ▽T?l=?T/?x cosα+?T/?y cosβ+?T/?z cosγ； 其中，cosα, cosβ, cosγ是矢量l的方向余弦； 如果要求得此时的热流密度，只需代入▽T(x, y, z)= ?T/?x i+?T/?y j+?T/?z k方程至q=-K ▽T