关于涡轮分子泵的安全使用问题.docxVIP

本文叙述了关于涡轮分子泵安全使用 的一些技术问题。首先对涡轮分子泵的构造 特点作了介绍，其次对涡轮分子泵的故障类 型、损坏原因进行了分析。最后从设计和使 用上的安全对策进行了讨论，以便更好的使 用涡轮分子泵。 □ 涡轮分子泵是1956年德国人 W.Becker发明的一种高速旋转的机械真空 泵。它也是一种大抽速可获得超高真空的新 型分子泵。在各个应用领域中得到了广泛的 应用和普及。1985年以来出现了一种工作 压力范围更宽的大流量的复合式涡轮分子 泵,它可代替扩散泵+罗茨泵或涡轮分子泵 +罗茨泵。扩大了涡轮分子泵的使用范围。 在半导体制造设备上用以获得清洁的高真 空。人们对涡轮分子泵的改进倍受重视。不 断出现新型的组合式分子泵。如可直排大气 到高真空的组合泵应用更方便了、占地面积 也少了。 □ 涡轮分子泵的轴承由有油润滑的滚动 轴承和滑动轴承向完全非接触式的空气轴 承和磁轴承方向发展。转子的抽气单元有涡 轮叶片、盘式叶片和牵引式螺旋槽结构。而 且动、静叶片间的间隙很小，叶片很长刚性 差。由于操作错误，突暴大气到泵中，使叶 片损坏，因为受大气负载和离心力的作用开 始弯曲振动，超过动、静叶片的间隙将会发 生叶片相碰损坏事故。因而，高速旋转的转 子系统遭到破坏时有发生，所以关于涡轮分 子泵的安全使用问题,曾引起过涡轮分子泵 的设计者和操作者的重视和硏究，以使涡轮 分子泵顺利推广应用与安全运行。 1、涡轮分子泵的构造 图1所示为磁轴 承式涡轮分子泵的构造。这种泵是由转子动 片、定子静片、马达、轴承和外壳等部件组 成。图1给出的是一种可获得高真空的涡轮 分子泵。整个转子系统为涡轮式动片、静片。 两者相互穿插排列而成，一般有20-40级。 图2所示为半导体制造设备上应用的 日本大阪真空产的大流量复合式涡轮分子 泵的内部结构图。 该泵的高真空级为涡轮式叶片，低真 空级为牵引式螺旋槽抽气机构。叶轮叶片为 平面的二维形状。涡轮叶片的夕卜径比较小， 约为100-300mm ,当然还有更大的。与支撑叶片的转筒做成一个整体其转动惯量 较大(约0.02kgm2)。由于加工技术的进步, 转子的上下两级抽气单元制成一体的转子 圆筒。泵的转速为20000~90000r/min。 转子叶片顶端的周速度约为 转子叶片顶端的 周速度约为 250~300m/s。因为转子叶片的速度越高则 泵的性能越好。但是,受到转子圆筒的材料 强度限制，一般常采用比强度高的铝合金或 钛合金作转子圆筒，而泵壳则用不锈钢或铝 合金制作。这种泵的特点是级数多，转速高、 间隙小、精度高。 □图1磁轴承式涡轮分子泵断面图 □ 2大流量复合式涡轮分子泵内部结构图 （去掉泵壳） □ 2、涡轮分子泵的故障分析 涡轮分子泵 的故障是由于机械真空泵的轴承系统，驱动 系统以及外因等出现问题时而弓I起的。下面 仅介绍引起转子叶片和转子圆筒的破坏的 一些情况。 2.1、损坏的类别 涡轮分子泵损坏最严重的故障是高速 旋转的叶片或转子筒的断裂。无论是哪一种 损坏，一旦发生了泵就要报废。 当转子叶片破坏时，由于转子上的每 一个叶片的重量约为l~5g ,叶片很薄，损 坏时产生的能量较小，但是在高速旋转的过 程中，若有一枚叶片瞬间（几十mu;s以内） 破坏就会引起转子上的全部叶片遭到破坏。 最后转子被剃成光头。在实际应用上这种情 况是少见的。但也不是没有发生过。 图3及图4为转子叶片破坏的实例。 □ 3涡轮分子泵叶片破损情况 4涡轮分子泵转子体叶片严重破损情况 □ 转子筒体破坏是比较大的事故。转子 筒在高速回转时，瞬间转子筒断裂成3~5 块，并会发出很大的冲击声响。转子被迫停 止旋转。图5为转子筒破坏分块的示意图。 此时回转体的动能瞬间作用到定子叶片和 泵体上,形成很大的转矩。 □ 这个转矩的大小取决于转子筒的破坏 程度(坏的原因，回转体停转的时间，回转体 的形状等)。通常将发生 100~25000Nmiddot;m( 即 10~2500kgmiddot;m)的扭矩作用到定 子上再传到泵体上。若是涡轮分子泵与装置 连接的固定方式不当，也可能使泵的入口法 兰的联接受到如此大的扭矩将固定螺钉剪 断。使泵体从装置上脱落。重则前级管道联 接部分也会脱落,前级管道漏气或被甩出。 法兰焊接不牢而断裂造成内部零件飞出z外 壳损坏等。因此转子筒的损坏是使用上最大 的安全隐患，必须引起重视。使用高速旋转 机械一定要提高对安全的认识，对安全措施 要做更好的分析。涡轮分子泵的使用条件要 特殊注意，如在半导体制造设备上应用，在 过渡流领域抽气时，要排出大量的气体z转 子筒温升造成的破坏问题要作仔细的考察。 □ 2.2、损坏的原因 n 涡轮分子泵损坏的原因可分为设计上 的和使用上的两方面的原因造成的。 □ 在设计上，有材料方面的问题。如材 质