飞纳电镜操作培训SEM基础与飞纳电镜.pptx

SEM基础与飞纳电镜SEM基础与飞纳电镜扫描电镜基本原理扫描电镜样品制备Phenom 飞纳电镜操作规范Phenom 飞纳电镜成像设置扫描电镜基本原理人类认识自然界的两个方向宏观微观光学显微镜罗伯特.胡克早期光镜软木片中的细胞结构两光点成像恰好能分辨的极限艾利斑，瑞利判据（20%）光学显微镜的极限光的衍射对分辨率的限制性（E Abbe）： ?：波长（390-760nm）；n：介质折射系数（香柏油n=1.51）；?：入射光束孔径角的一半（最大180°）人眼的分辨率：0.10-0.25mm 电子显微镜的理论基础光学显微镜分辨率：200nm肉眼分辨率：0.1mm物质波长紫外光380nmX Ray10~0.001nm电子束0.01nm~0.001nmh: 普朗克常数；v: 电子速度；e: 电子电量；E: 加速电压；m: 电子质量，9.1×10-28g；根据德布罗意物质波假设，电子束具有波粒二象性：Max Knoll (1897-1969)：1935年提出扫描电镜的设计思想和工作原理。1942年，剑桥大学的马伦成功地制造世界第一台扫描电镜。SEM的特点 ◆ SEM能弥补透射电镜样品制备要求很高的缺点; ◆ 景深大; ◆ 放大倍数连续调节，范围大; ◆ 分辨率比较高；◆样品制备非常方便； ◆可直接观察大块试样；◆ 固体材料样品表面和界面分析；◆ 适合于观察比较粗糙的表面、材料断口和显微组织三维形