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新技术应用推广中心 新技术应用推广中心 PCB对位精度介绍 新技术应用推广中心 2005-7-28 新技术应用推广中心 * 内层曝光机 曝光机型号:志圣平行曝光机 对位方式:CCD镜头调整使上或下菲林重叠 标靶数:4个或2个 曝光方式:单面曝光 对位精度:±0.6mil PCB 上菲林 下菲林 2005-7-28 新技术应用推广中心 * Mutiline冲孔机和 PIN-LAM Mutiline冲孔机对位精度:±1.0mil Pin-Lam对位精度:±2.0mil PCB Mutiline冲孔标靶 层压冲孔标靶 PCB 层压对位孔 2005-7-28 新技术应用推广中心 * X光机 钻2个钻孔管位孔和1个方向孔 X光钻孔对位精度: ± 0.8mil PCB PCB X光钻孔标靶,直径3.15mm的孔 X光钻孔标靶,直径3.15mm的孔 2005-7-28 新技术应用推广中心 * 机械钻孔机 对位方式:孔槽对位,零位设在板中心 。在机械钻机的每个工作台面上都有一个孔(TOP点)和一个长槽在同一条直线上,上板时一个PIN位于TOP点,另一个PIN随板件的长短在槽内移动。 机械钻孔对位精度:±2.0mil 零位 TOP点 2005-7-28 新技术应用推广中心 * 外层曝光机 曝光机型号:志圣半自动曝光机 对位方式:手动调整使上或下菲林与对位孔重叠 标靶数:2个 曝光方式:单面曝光 对位精度: ±2mil PCB 1.对位孔(2个) 2.上菲林(2个) 3.下菲林(2个) 2005-7-28 新技术应用推广中心 * 感光阻焊曝光机 曝光机型号:志圣 对位方式: 手动对位调整使菲林与对位标靶重叠 标靶数:4个或2个 曝光方式:单面曝光 对位精度:±2mil PCB 1.对位标靶 2.菲林 2005-7-28 新技术应用推广中心 * 菲林涨缩控制 内层菲林---------------±1.5mil 次外层菲林------------±1.5mil 激光窗菲林------------±1.5mil 外层菲林---------------±2.0mil 感光菲林---------------±2.0mil 2005-7-28 新技术应用推广中心 * 内层层间对位精度分析 内层层间对位精度 内层图形精度 层间对准度 钻孔对位精度 菲 林 涨 缩 蚀 刻 后 板 件 涨 缩 曝 光 机 对 位 精 度 冲 孔 对 准 度 层 压 对 准 度 X 光 打 孔 对 准 度 钻 孔 对 准 度 2005-7-28 新技术应用推广中心 * 内层层间对位精度分析 菲林涨缩变化:±1.5mil 曝光机对位精度:±0.6mil 蚀刻后板件涨缩: ±1.0mil 冲孔对准度:±1.0mil 层间对准度: ±2.0mil X光钻孔对准度: ±0.8mil 机械钻孔对准度:±2.0mil 内层层间对位精度: 1.52+0.62+1.02+1.02+2.02+0.82+2.02 =3.60mil 内层焊环(相对于钻孔)单边要求3.60mil以上 适用范围:高多层板、BUM板采用PIN-LAM的部分 2005-7-28 新技术应用推广中心 * 内层层间对位精度分析 菲林涨缩变化:±1.5mil 对位精度:±0.6mil 蚀刻后板件涨缩: ±1.0mil X光对准度: ±0.8mil 机械钻孔对位精度:±2.0mil 内层层间对位精度: 1.52+0.62+1.02+0.82+2.02 =2.87mil 内层焊环(相对于钻孔)单边要求2.87mil以上 适用范围:四层板 2005-7-28 新技术应用推广中心 * 内层层间对位精度分析 菲林涨缩变化:±1.5mil 对位精度:±0.6mil 蚀刻后板件涨缩: ±1.0mil X光对准度: ±0.8mil 机械钻孔对位精度:±2.0mil 叠层对准度:±3.0mil 内层层间对位精度: 1.52+0.62+1.02+0.82+2.02 +3.02=4.15mil 内层焊环(相对于钻孔)单边要求4.15mil以上 适用范围:采用MASS-LAM的高多层板 2005-7-28 新技术应用推广中心 * 外层图形对位精度 外层图形对位精度 对位孔偏差 曝光机对位精度 菲林涨缩 钻孔对准度 机械钻孔对位精度:±2.0mil 外层曝光机对位精度:±0.6mil 菲林涨缩变化:±2.0mil 外层图形对位精度: 2.02 + 0.62 +2.02 =2.89mil 外层焊环(相对于钻孔)单边要求2.89mil以上 适用范围:所有板件 2005-7-28 新技术应用推广中心 * 激光钻孔对位精度 激光钻孔对位精度 激光钻孔对准度 激
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