检测技术WSL-第06章数字式传感器.ppt

* 应用领域 精密转台 三坐标测量机 机床行业 印刷行业 电子制造设备 电机行业 工厂自动化 纺织行业 水利行业 造纸行业 航空和航天 天文望远镜 2 光栅传感器 光栅数字传感器的原理：莫尔条纹 主（标尺）光栅 指示光栅 莫尔条纹形成 当指示光栅和标尺光栅的线纹相交一个微小的夹角时，由于挡光效应(当线纹密度≤50条/mm时)或光的衍射作用(当线纹密度≥100条/mm时)，在与光栅线纹大致垂直的方向上(两线纹夹角的等分线上)产生出亮、暗相间的条纹——称为“莫尔条纹”。 2 光栅传感器 莫尔条纹是指当指示光栅与主光栅的栅线有一个微小的夹角θ时，由于挡光效应(当线纹密度≤50条/mm时)或光的衍射作用(当线纹密度≥100条/mm时)，则在近似垂直于栅线方向上显现出比栅距W大得多的明暗相间的条纹，相邻的两明暗条纹之间的距离B 称为莫尔条纹间距。 莫尔条纹 2 光栅传感器 横向莫尔条纹 光闸莫尔条纹 纵向莫尔条纹 横向莫尔条纹：由于两光栅的栅线夹角θ 很小，条纹近似与栅线的方向垂直，故称为横向莫尔条纹。 纵向莫尔条纹：当栅线的夹角θ＝0，且两光栅栅距不等时产生的莫尔条纹。 光闸莫尔条纹：当栅线的夹角θ＝0, 且两光栅栅距相等时产生的莫尔条纹。 2 光栅传感器 光栅数字传感器的原理：莫尔条纹 圆弧莫尔条纹 2 光栅传感器 图 6－2－2 莫尔条纹的形成 2 光栅传感器 条纹距离H 光栅栅距W 光栅夹角β 莫尔条纹特点： (1) 位移的放大作用 当光栅每移动一个光栅栅距W 时， 莫尔条纹也跟着移动一个条纹宽度H，如果光栅作反向移动，条纹移动方向也相反。 β 越小，H 越大，这相当于把栅距W 放大了1/ β 倍。例如 β =0.1°，则1/ β ≈573，即莫尔条纹宽度H 是栅距W 的573倍， 这相当于把栅距放大了573倍，说明光栅具有位移放大作用， 从而提高了测量的灵敏度。 H 2 光栅传感器 H 莫尔条纹特点： (2) 位移的移动方向 如光栅1沿着刻线垂直方向向右移动时，莫尔条纹将沿着光栅2的栅线向下移动；反之，当光栅1向左移动时，莫尔条纹沿着光栅2的栅线向上移动。 因此根据莫尔条纹移动方向就可以对光栅1的运动进行辨向。 光栅1 光栅2 2 光栅传感器 莫尔条纹特点： (3) 误差的平均效应 莫尔条纹由光栅的大量刻线形成，对线纹的刻划误差有平均抵消作用，能在很大程度上消除短周期误差的影响。 例W=0.02mm, 接收元件尺寸10×10mm2,在10mm范围内有500条刻线参与工作，某几条刻线误差对莫尔条纹位置和形状基本无影响。 H 2 光栅传感器 莫尔条纹特点： 其放大倍数可通过使θ角连续变化，从而获得任意粗细的莫尔条纹。 (4) 连续变倍的作用： H 2 光栅传感器 一、光电转换原理 1－光源；2－聚光镜；3－光栅主尺；4－指示光栅； 5－光敏元件；6－莫尔条纹；7－光强分布 2 光栅传感器 通过前面的分析知道，主光栅每移动一个栅距W，莫尔条纹就变化一个周期2π，通过光电转换元件，可将莫尔条纹的变化变成电信号，电压的大小对应于莫尔条纹的亮度，它的波形近似于一个直流分量和一个正弦波交流分量的叠加。 式中 W——栅距； x——主光栅与指示光栅间瞬时位移； U0——直流电压分量； Um——交流电压分量幅值； U——输出电压。 光栅信号输出 莫尔条纹位移测量原理 2 光栅传感器 将该电压信号放大、整形使其变为方波，经微分电路转换成脉冲信号，再经过辨向电路和可逆计数器计数，则可在显示器上以数字形式实时地显示出位移量的大小。 位移量为脉冲数与栅距的乘积： 莫尔条纹位移测量原理 2 光栅传感器 辨向原理 1）为什么要辨向？ 当可动光栅（主光栅）无论向前或向后移动时，在一固定点安装的光电元件只能接收到莫尔条纹明暗交替的变化，后面的数字电路都将发生同样的计数脉冲，从而无法辨别光栅移动的方向，也不能正确测量出有往复移动时位移的大小。因而必须在测量电路中加入辨向电路。 2 光栅传感器 2）辨向原理与辨向电路 为辨别主光栅的移动方向,需要有两个具有相位差的莫尔条纹信号同时输入来辨别移动方向,且两个莫尔条纹信号相差90°相位。 实现的方法是在相隔H／4或（n+1） H／4条纹间隔的位置上安装两只光电元件,当莫尔条纹移动时两个狭缝的亮度变化规律完全一样,相位相差π／2。滞后还是超前完全取决于光栅的运动方向。这种区别运动方向的方法称为位置细分辨向原理。 2 光栅传感器 辨向原理 2 光栅传感器 2）辨向原理与辨向电路 在相隔1/4H莫尔条纹间距的位置上安