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第五章 电容传感器 课题：电容传感器的原理及应用 课时安排：2 课次编号：9 教材分析 难点： 压力的测量 重点： 电容传感器的分类及应用 教学目的和要求 1、了解电容传感器的工作原理； 2、掌握电容传感器的应用； 3、了解电容接近开关的原理及应用； 4、了解压力测量的方法。 采用教学方法和实施步骤： 讲授、课堂互动、分析 教具：各种电容传感器 各教学环节和内容 演示： 做以下的实验： 将两片直径为30mm的圆形铜片相互接近，用万用表的电容1000pF量程，测量两者之间的电容量。 可以看到：随着两者的靠近，电容量从0pF，逐渐增大。在短路之前，大约可增大到30pF。 请学生在两者之间逐渐插入塑料薄膜，可以观察到：电容量逐渐增大，到40pF左右。 保持两者的距离，将这两片铜片向水平方向分开，可以看到：万用表所指示的电容量逐渐减小。 结论： 从以上实验和电工知识可知，电容传感器的电容量C与两极板相互遮盖的有效面积A以及两极板之间的介质相对介电常数εr成正比，与两极板间的距离d（常称为极距）成反比 从以上演示，引入第一节的电容传感器工作原理。 第一节 电容传感器的工作原理及结构形式 平板电容器的电容量为 (5-1) 式中 A——两极板相互遮盖的有效面积； d——两极板间的距离，也称为极距； ε ——两极板间介质的介电常数； εr——两极板间介质的相对介电常数； ε0——真空的介电常数，ε0=8.85?10-12 (F/m)。 分析式（5-1）得出结论：在A、d、ε三个参量中，改变其中任意一个量，均可使电容量C改变。也就是说，电容量C是A、d、ε的函数，固定三个参量中的两个，可以做成三种类型的电容传感器：变面积式、变极距式、变介电常数式。 一、变面积式 变面积式电容传感器的结构及原理如图5-3所示。图5-3a是平板形直线位移式结构，其中动极板1可以左右移动，称为动极板；极板2固定不动，称为定极板，两者之间的初始安装距离d 图5-3 变面积式电容传感器的结构及原理 a）平板形直线位移式 b）圆筒形直线位移式 c）半圆形角位移式 1－动极板 2－定极板 3－外圆筒 4－内圆筒 5-导轨 6－测杆 7－被测工件 8—水平基准 变面积式电容传感器的输出特性是线性的，多用于检测直线位移、角位移、尺寸等参量。 二、变极距式 变极距式电容传感器结构如图5-4a所示，特性曲线如图5-4b所示。图中1为定极板，2为动极板。当动极板受被测物体作用而上下位移时，改变了两极板之间的距离d 图5-4 变极距式电容传感器 a）结构示意图 b）电容量与极板距离的关系 1－定极板 2－动极板 3－弹性膜片 课堂提问： 观察图5-4b所示的变极距式电容传感器特性曲线，变极距式电容传感器的特性是什么曲线？当初始安装距离d0较小时所引起的电容变化量ΔC1，与d0较大时的ΔC2比较，灵敏度哪个高？对行程有何影响？在图示的例子中，你在调整极距时，打算将d0设置为多少mm？请在图5-4b上标出来。 为了提高传感器的灵敏度，减小非线性，也常常把电容传感器做成差动形式。差动式电容传感器结构示意图如图5-5所示。 图5-5a的中间极板为动极板（接地），上下两块为定极板。当动极板向上移动?x后，C1的极距由初始安装位置的d0，变为d1（d1＝d0-?x），而C2的极距变为d2（d1＝d0＋?x），电容C1和C2 图5-5 差动电容传感器结构示意图 a）差动变极距式 b）差动变面积式 1－动极板 2－定极板 在图图5-5b中，动极板向左位移了Δx时，动极板与两块定极板的极距d0保持不变，但与左边一块定极板的投影长度增加到L0＋Δx，两者之间的投影面积增大，电容C1也随之增大。与此同时，动极板与右边定极板之间的电容C2减小，构成差动关系。数显卡尺就是利用这种差动变面积式的基本原理制作的。 三、变介电常数式 因为各种介质的相对介电常数不同，所以在电容器两极板间插入不同介质时，电容器的电容量也就不同。利用这种原理制作的电容传感器称为变介电常数式电容传感器，它们常用来检测片状材料的厚度、性质，颗粒状物体的含水量以及测量液体的液位等。表5-1列出了几种常用气体、液体、固体介质的相对介电常数。 表5-1 几种介质的相对介电常数 介质名称 相对介电常数εr 介质名称 相对介电常数εr 真空 1 玻璃釉 3~5 空气 略大于1 SiO2 38 其他气体 1~1.2① 云母 5~8 变压器油 2~4 干的纸 2~4 硅油 2~3.5 干的谷物 3~5 聚丙烯 2~2.2 环氧树脂 3~10 聚苯乙烯 2.4~2.6 高频陶瓷 10~160 聚四氟乙烯 2.0 低频陶瓷