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环境科学和技术研究所
污染控制部门操作规程建议004.3
IEST-RP-CC004.3
清洁室和其它受控环境的擦拭材料评价
为改进有关技术和工程科学,环境科学和技术研究所(IEST)发表了本操作规程建议。特殊使用的实用性及适用性,使用者自行决定。
本操作规程建议由IEST污染控制部门工作组004提出并归口管理。
2004 版版权归IEST
2004年8月首次印刷
ISBN 978-1-877862-98-4
改进建议:IEST工作组一直致力于本规程和有关文件的改进研究。欢迎读者多提建议。如有相关建议,请登入IEST网站找到“改进建议”, 使用在线的方式提出建议。网址:/proposal/form.html.
环境科学和技术研究所
5005 Newport Drive, Suite 506
Rolling Meadows
Phone:(847)255-1561 Fax: (847)255-1699
E-mail:iest@
PAGE 1
洁净室和其他受控环境的擦拭材料评价
IEST-RP-CC004.3
目录
章节 TOC \o 1-1 \h \z \u
1范围和限制 4
2 参考文献 4
3 术语及定义 5
4 背景及目的 5
5 实验室规程建议 6
6 颗粒检测方法 8
7 可提取物的检测 16
8 吸附量和吸附率检测 21
9耗材生物负荷定量方法 24
10 静电试验 25
图形
1 颗粒大小和枚举技术
2 16领域
3 32领域
表格
1 试验结果的精度和偏差(10次重复)
附录
A 参考文献
环境科学和技术研究所(IEST)
污染控制部门操作规程建议004.3
评估洁净室和其他受控环境擦拭材料评价
IEST-RP-CC004.3
1范围和限制
1.1 范围
本规程描述了洁净室和其他受控环境擦拭材料的清洁特性检测方法。
1.2 限制
本规程未建议擦拭布组成、包装或者洗涤,或者像强度、抗磨蚀力等物理性质。
2 参考文献
以下文件被合并到本规程指定内容,读者需使用参考文献的最新版本。
2.1 ANSI(美国国家标准学会)
ANSI/AAM/ISO 11737-1:医疗设备的灭菌-微生物方法-第一部分:产品微生物菌落评价
2.2 美国材料与试验协会(ASTM)
ASTM D1193-99el:净水剂标准规范
ASTM E548-94:实验室评估一般性标准规范
ASTM E2090-00:洁净室擦拭布释放的不同尺寸颗粒和纤维的光学和电子扫描显微镜技术标准试验方法。
ASTM F25-68(1999):电子和相似行业的洁净室和其它尘埃受控区域空气悬浮颗粒的计径计数标准试验方法。
ASTM F311-97(2002):处理航空液体的样品微粒膜过滤标准分析方法
ASTM F312-97(2003):航空流体膜过滤颗粒的显微镜计径计数标准试验方法
2.3 ESD
ESD STM11.11:静电耗散平面材料的表面电阻检测
2.4环境科学和技术研究所(IEST)
IEST-RP-CC013-86T:设备校正或验证程序
IEST-RP-CC022.1:洁净室及其它受控环境的静电荷
2.5 国际标准化组织(ISO)
ISO 14644-1:洁净室及相关受控环境-第一部分:空气洁净度分类
2.6 SEMI
SEMI C10-0998:检测限确定方法指南
2.7 其它资料
1. Automotive Industry Action Group. 2002. Measurement Systems Analysis. 3rd Ed2. Detroit,
2. Wheeler, D.W. and R. W. Lyday. 1998. Evaluating the Measurement Process. 2nd Ed. Knoxville, TN: SPC Press Inc.
3. Rudisill, J.F. and E.E. Burch. 1999. Quality Management Measurement Systems. Clemson,
2.8 来源和地址
3 术语及定义
生成颗粒
不存在于擦拭布表面,由机械作用产生的颗粒。
颗粒
一般来说,尺寸大小在0.001μm~1000μm 的固体或液体物质。
释放颗粒
存在于擦拭布表面,或经液体润湿但无机械力而作用释放的颗粒。
吸附
固体表面带动流体的物理或化学作用力(区别于发生在毛孔和毛细血管内外的吸附)
4 背景及目的
擦拭材料的试验可分为两大类,一类与功能有关,另一类与污染相关。
吸附液体可能是擦拭布最重要的功能特征。与吸附能力有关的两个独立特性:吸附量(吸附液体的量)和吸附率(吸附的速率)。第8章描述
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