项目安全验收评价报告模版生产工艺及危险化学品使用安全评价单元.doc

××项目安全验收评价报告模版（生产工艺及危险化学品使用安全评价单元） ? 　　生产工艺及危险化学品使用安全评价单元 　　1　支援车间危险化学品使用、储存、安全措施情况如表5.2.1-3所示： 表5.2.1-3 危险化学品使用、储存及安全措施表 序号 储存场 所名称 储存危险化学品名称 气柜数量（个） 安全设施 1 毒性气 体室 砷化氢混合气（AsH3/H2） 1 10%氦气/氮气工艺吹扫、TGM报警、消防水喷淋、排风、火灾声光报警、shut down 按钮、劳动防护用品专柜、双套管输送，内套管为真空，设侦测器，介质泄漏时，报警。 1.5%锗烷/氢气（GeH4/H2） 1 1%磷化氢/氮气混合气（PH3/N2） 1 5%磷化氢/氮气混合气（PH3/N2） 2 2 易燃气体室 氨气（NH3） 8 10%氦气/氮气工艺吹扫、TGM报警、氨、氟环境监测报警、消防水喷淋、排风（酸碱性排风系统分开）、火灾声光报警、shut down 按钮、劳动防护用品专柜。 一氧化碳（CO） 3 二氯硅烷（SiH2Cl2） 1 二氟甲烷（CH2F2） 1 50ppm乙硼烷/氢气（B2H6/H2） 1 氟甲烷（CH3F） 2 100ppmB2H6/N2 1 5% B2H6/N2 2 100ppm乙硼烷/氢气（B2H6/H2） 2 10%氨气/氮气 1 C4F6 1 3 腐蚀性气体室 Cl2 2 10%氦气/氮气工艺吹扫、TGM报警、消防水喷淋(ClF3无)、排风、火灾声光报警、shut down 按钮、劳动防护用品专柜。 ClF3 2 HBr 2 HCl 11 SiF4 1 4 氧化气体室 NF3 9 10%氦气/氮气工艺吹扫、TGM报警、消防水喷淋、酸性排风、火灾声光报警、shut down 按钮、劳动防护用品专柜。 N2O 7 30%O2/He 6 ? ? ? ? 5 ? ? ? ? 惰性气体室 1.2%He+N2 1 10%氦气/氮气工艺吹扫、TGM报警、消防水喷淋、排风、火灾声光报警、shut down 按钮、劳动防护用品专柜。 C4F8 2 CHF3 1 C2F6 1 CO2 1 CF4 2 CHF3 2 SF6 2 He 1 4%H2/N2 1 6 酸室 HCl CDM 1 设排风系统、收集井、吸收棉、双套管输送、内设泄漏报警侦测器、PEH在线型火灾声光报警装置，自动水喷淋装置。 BOE CDM 1 HF CDM 2 NOE CDM 1 HNO3 CDM 1 H3PO4 CDM 1 H2SO4 CDM 2 HF100:1 CDM 1 7 Base Room （碱室） NH4OH 1 设排风系统、收集井、吸收棉、双套管输送内设泄漏报警侦测器，PEH在线型火灾声光报警装置，自动水喷淋装置、消防器材。 H2O2 2 SD-1 1 8 溶剂室 ACT940 CDM 1 设溶剂排风系统、收集井、吸收棉、双套管输送、内设泄漏报警侦测器、PEH在线型火灾声光报警装置，自动水喷淋装置、消防器材。 EG-01 1 EBR10A 1 1PA-01CDM 1 　　2　危险危害辨识与分析 　　1、火灾、爆炸　　各类易燃液体、易燃气体在生产、储存、输送过程中，一旦因设备材质缺陷、制造质量差、机械损伤等原因致使设备密封效果不好、包装容器破损以及人员误操作，造成物料泄漏，如作业现场通风不良，与空气混和达到爆炸极限，遇有火源可能发生火灾、爆炸；　　2、?腐蚀、中毒、化学灼伤　　清洗、扩散、光刻、蚀刻等生产区、酸室、Base room、碱室、溶剂室等腐蚀性化学品生产、储存、使用场所内，盛装酸、碱性腐蚀品磷酸、盐酸等设备、容器以及输送管路因材质缺陷，制造质量差，搬运、使用过程机械损坏、倾翻，造成物料泄漏，如人体接触泄露的酸、碱性物质将会引起严重的化学灼伤；同时各类腐蚀性气体、毒性气体因盛装气瓶、输送管路、使用设备腐蚀、制造缺陷等原因造成泄漏，人接触或吸入有毒、腐蚀性气体，均会造成人员中毒。　　3、?物理爆炸　　各类压力容器（包括气瓶）、管道，如果设备、管道因材质缺陷、设计不合理、制造焊接质量差、腐蚀等使其强度降低以及安全阀、压力表等附件失灵等，可能发生容器、管道不能承受设计压力而发生爆炸，造成人员伤亡，设备损坏。　　4、?高温灼伤　　高温设备、蒸气管路等表面，保温、隔热效果不好，易形成烫伤事故。　　5、?激光、红外线辐射灼伤　　在各类使用激光源、红外线光源的设备、机台上，如因光源密闭性不好或损坏或操作不当，致使光源直射观察者眼睛，将会造成眼灼伤。　　6、?高频、噪声伤害　　在离子植入区，使用离子植入机等高频设备；清洗、光刻、蚀刻区使用各类清洗机、蚀刻机、微影机等产生噪声的设备，如上述各类设备高频、噪声防护措施不当或损坏都会对人员造成物理因素伤害。　　7