乾式洗涤塔吸附剂之改性及对六氟化硫气体吸附性能之研究.docVIP

中文摘要 沸石吸附劑為半導體與光電產業常設之乾式洗滌塔所廣泛使用的吸 附劑材料之一。本研究乃對四種不同的商用吸附劑，如沸石、活性氧化鋁、 氫氧化鈣和錳氧化物等材料進行物性與化性分析。擇一選擇最具開發潛力 之吸附劑並加入金屬觸媒予以改質。其中沸石吸附劑同時具有高比表面積 與孔徑大小，並可經由負載活性金屬觸媒改變其組成成份。 本研究採用13X 型沸石作為製備改質吸附劑之擔體，以濕式含浸法 負載鈷、鋅、鎳、銅四種金屬觸媒對其進行改質，並進行物化特性與SF6 氣體吸附效能測試。研究結果發現，唯有含鈷及鋅金屬觸媒之吸附劑對 SF6 氣體的去除效率可達99 %以上。Co/13X zeolite 與Zn/13X zeolite 吸附 劑在含浸濃度分別為0.03 M 和0.07 M 有最佳的有效吸附容量，其吸附量 分別為1.34 mg SF6/g 與0.827 mg SF6/g。改變氣體進流量為50、100 和150 ml/min 時，去除效率分別達100 %、38 %和28 %，去除效率會隨著流量 的增加而下降，係因為流量的增加會縮短SF6 在反應管內的停留時間，使 SF6 氣體和觸媒接觸的有效反應時間減少。 英文摘要 Zeolite is one of common adsorbents for dry scrubber in semiconductor and optoelectronic