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我国超净高纯试剂行业研究 摘要：是超大规模集成电路制作过程中的关键性基础化工材料之一，主要用于芯片的清洗、蚀刻，另外超净高纯试剂还用于芯片掺杂和沉淀工艺。超净高纯试剂的纯度和洁净度对集成电路的成品率、电性能及可靠性均有十分重要的影响。超净高纯试剂的主要应用领域包括半导体行业和太阳能行业，半导体行业用超净高纯试剂要求相对较高，目前我国高端产品主要靠进口，国内主要生产中低端产品。太阳能行业在我国的崛起推动了超净高纯试剂的增长。目前国内生产超净高纯试剂的企业仅有十余家，且技术水平比较低下，能生产PPT及试剂的企业仅两家。总体上该细分市场存在较高的技术壁垒和市场壁垒，总体市场前景看好，拥有技术制高点的企业将具有很好的发展前景。 1.行业概述 1.1定义 1.1.1 电子化工材料是电子工业中的关键性基础化工材料，电子工业的发展要求电子化工材料与之同步发展，不断的更新换代，以适应其在技术方面不断推陈出新的需要。特别是在集成电路(IC)的微细加工过程中所需的关键性化工材料主要包括：光刻胶（又称光致抗蚀剂）、超净高纯试剂(又称工艺化学品)、特种电子气体和塑封料，其中超净高纯试剂、光刻胶、特种电子气体用于前工序，环氧塑封料用于后工序。这些微电子化工材料约占IC材料总成本的20％，其中超净高纯试剂约占5％，光刻胶约占4％，电子气体(纯气、特气)约占5％～6％，环氧塑封料约占5%。 1.1.2 超净高纯