边缘形貌缺陷对条状光学天线响应特性的影响-光子学报.pdf

第 卷第 期 光 子 学 报 48 4 Vol.48No.4 年 月 2019 4 A ril2019 ACTAPHOTONICASINICA p 引用格式: , , ZHANGQian LIChun YUANGuan.InfluenceofEdeMorholo DefectonResonseCharacteristicsofStri g g p gy p p [] , , (): O ticalAntennaJ.ActaPhotonicaSinica 2019 484 0423002 p , , [] , , (): 张骞 李春 元光 边缘形貌缺陷对条状光学天线响应特性的影响 光子学报 . J. 2019484 0423002 边缘形貌缺陷对条状光学天线响应特性的影响 , , 张骞 李春 元光 ( , ) 中国海洋大学 信息科学与工程学院 山东 青岛 266100 : , 摘 要 使用有限时域差分法 模拟计算了天线边缘的凹凸缺陷对硅基底上的条形天线的响应特性及电 : , 场分布的影响 计算结果表明 两种类型的缺陷都将改变缺陷附近的电场方向和电场强度 凸起缺陷可 . , , , 以使其附近的电场增强 而凹陷缺陷则相反 且缺陷越靠近天线末端 对电场的影响越强 缺陷大小和位 . , , , 置不同 对电场增强面积的影响不同 凹陷缺陷位于天线末端时 随着缺陷的增大 电场强度增强 倍的 . 2 , , 区域单调减小 增强 倍的区域面积单调增加 当缺陷为 时 电场强度增强 倍的区域面积降低 4 . 20nm 2 , , , 约 增强 倍的区域面积增加约 与凹陷缺陷不同凸起缺陷没有简单单调性 缺陷位置不同 影 3% 4 4%. , 响也有所区别 但是控制缺陷在 以内