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扫描电镜 一、简介 扫描电镜是用极细的电子束在样品表面扫描，将产生的 二次电子用特制的探测器收集，形成电信号运送到显像管，在荧光屏上显示物体。（ 细胞、组织）表面的立体构像，可摄制成照片。 二、主要应用 扫描电镜是一种多功能的 仪器、具有很多优越的性能、是用途最为广泛的一种仪器．它可以进行如下基本分析： 1、观察纳米材料 所谓纳米材料就是组成材料的颗粒或微晶尺寸在0.1-100nm范围内，在保持表面洁净的条件下加压成型而得到的固体材料。纳米材料具有许多与 晶体、非晶态不同的、独特的 物理化学性质。 纳米材料有着广阔的发展前景，将成为未来材料研究的重点方向。扫描电镜的一个重要特点就是具有很高的 分辨率。现已广泛用于观察纳米材料。 2、进口材料断口的分析 扫描电镜的另一个重要特点是 景深大，图像富立体感。扫描电镜的 焦深比透射电子显微镜大10倍，比 光学显微镜大几百倍。由于图像景深大，故所得扫描电子像富有立体感，具有 三维形态，能够提供比其他 显微镜多得多的信息，这个特点对使用者很有价值。扫描电镜所显示的断口形貌从深层次，高景深的角度呈现材料断裂的本质，在教学、科研和生产中，有不可替代的作用，在材料断裂原因的分析、事故原因的分析以及工艺合理性的判定等方面是一个强有力的手段。 3、直接观察大试样的原始表面 它能够直接观察直径100mm，高50mm，或更大尺寸的 试样，对试样的形状没有任何限制，粗糙表面也能观察，这便免除了制备样品的麻烦，而且能真实观察试样本身物质成分不同的衬度（背反射电子像）。 4、观察厚试样 其在观察厚试样时，能得到高的分辨率和最真实的形貌。扫描电子显微的分辨率介于光学显微镜和透射电子显微镜之间，但在对厚块试样的观察进行比较时，因为在透射电子显微镜中还要采用复膜方法，而复膜的分辨率通常只能达到10nm，且观察的不是试样本身。因此，用扫描电镜观察厚块试样更有利，更能得到真实的试样表面资料。 5、观察试样的各个区域的细节 试样在样品室中可动的范围非常大，其他方式显微镜的 工作距离通常只有2-3cm，故实际上只许可试样在两度空间内运动，但在扫描电镜中则不同。由于工作距离大（可大于20mm）。焦深大（比透射电子显微镜大10倍）。样品室的空间也大。因此，可以让试样在三度空间内有6个自由度运动（即三度空间平移、三度空间旋转）。且可动范围大，这对观察不规则形状试样的各个区域带来极大的方便。 6、在大视场、低放大倍数下观察样品 用扫描电镜观察试样的视场大。在扫描电镜中，能同时观察试样的视场范围F由下式来确定：F=L/M式中 F——视场范围；M——观察时的放大倍数；L——显像管的荧光屏尺寸。若扫描电镜采用30cm（12英寸）的显像管，放大倍数15倍时，其视场范围可达20mm，大视场、低倍数观察样品的形貌对有些领域是很必要的，如刑事侦察和考古。 7、进行从高倍到低倍的连续观察 放大倍数的可变范围很宽，且不用经常 对焦。扫描电镜的放大倍数范围很宽（从5到20万倍连续可调），且一次聚焦好后即可从高倍到低倍、从低倍到高倍连续观察，不用重新聚焦，这对进行事故分析特别方便。 8、观察生物试样 因电子照射而发生试样的损伤和污染程度很小。同其他方式的 电子显微镜比较，因为观察时所用的 电子探针电流小（一般约为10-10 -10-12A）电子探针的束斑尺寸小（通常是5nm到几十纳米），电子探针的能量也比较小（加速 电压可以小到2kV）。而且不是固定一点照射试样，而是以 光栅状扫描方式照射试样。因此，由于电子照射面发生试样的损伤和污染程度很小，这一点对观察一些 生物试样特别重要。 9、进行动态观察 在扫描电镜中，成像的信息主要是 电子信息，根据近代的 电子工业技术水平，即使高速变化的电子信息，也能毫不困难的及时接收、处理和储存，故可进行一些动态过程的观察，如果在样品室内装有加热、冷却、弯曲、拉伸和 离子刻蚀等附件，则可以通过电视 装置，观察相变、断烈等动态的变化过程。 10、从试样表面形貌获得多方面资料 在扫描电镜中，不仅可以利用入射电子和试样相互作用产生 各种信息来成像，而且可以通过信号处理方法，获得多种图像的特殊显示方法，还可以从试样的 表面形貌获得多方面资料。因为扫描电子象不是同时记录的，它是分解为近百万个逐次依此记录构成的。因而使得扫描电镜除了观察表面形貌外还能进行成分和 元素的分析，以及通过电子通道花样进行结晶学分析，选区尺寸可以从10μm到3μm。 由于扫描电镜具有上述特点和功能，所以越来越受到科研人员的重视，用途日益广泛。现在扫描电镜已广泛用于 材料科学（金属材料、非金属材料、纳米材料）、 冶金、生物学、医学