全反射蛍光X线分析法-J-Stage.pdf

1228 鉄 と 鋼 第76 年 (1990)第 8号 C 1990ISIJ 解 説 全反射蛍光X線 分析法 谷 ロ ー 雄*・ 二 宮 利 男*2 Total Reflection X-ray Fluorescence Spectrometry Kazuo TANIGUCHI and Toshio NINOMIYA す で に1923年にCOMPTONは,X線をク ラ ウンガ ラス面 1.は じ め に に対 して3分(3/60度)で 入射 させ た場合,入 射X線 蛍光X線 は,物 質の状態 によ らず非破壊 で容易に定 の90%が 全反射 す る こ とを実験 的 に確 か めた2). 性 ・定量等の分析結果が得 られるために,広 く普及 した COMPTONに よる研 究 以後,全 反射 現象 を表 面計測 に応 分析法 の一つである。 しか し微 量分析 が困難 で,軽元素 用 した論文 は1954年にPARRATによ って発 表 され た3). においては検出感度が小 さいな どの欠点 も多い.通常の この論文 の 中で彼 は,入 射X線 角度 を臨界 角度付 近 で 蛍光X線 分析装置の多 くは分光器 を用いた波長分散型 0.001ラジ ア ンか ら0.008ラジア ンまで徐 々 に変化 さ であるが,近 年,高 感度分析法の一つ としてエネルギー せ,ガ ラス板上 に蒸着 した銅膜(膜厚:2000A)の深 さ 分散型が多 く用いられ るようになってきた.し か し,エ 方 向の組 成 につ い て検討 し,銅 は表 面 か ら150Aぐ ら ネルギー分散型 を用いて感度 を増大 させ て も入射 した励 い まで酸化 され,表 面 か ら内部 に向か ってCu2Oか ら 起X線 の試料 による散乱 のため検 出限界 の大幅な改善 Cuに な ってい る と推 定 した.1963年,YONEDAは表 面 は達成 できない.これ に対 して,最 近光学的に平滑 なオ に種 々の金 属 を蒸 着 した光 学 ガ ラスや カルサ イ ト,LiF, プテ ィカル フラッ ト面上 に試料 を置 き,入射励起X線 KC1,NaClなどの単結 晶表 面 のX線 表 面反射 を検討 し, を全反射 させ,蛍 光X線 中に含 まれ る散乱X線 の量 を 全反射領 域 の近傍 で異 常表 面反射(ASR)を 観 測 して こ 非常 に少 な くす ることに よって信号対雑音比(S/N)を のASRが 表 面材 質 に固有 で あ る と報 告 した4).WARREN 改善 し,極微量な含有量の定性 ・定量分析 が可能である らは,こ のASR現 象 につ い てVycorガ ラスお よび煤 ことが報告 された.こ の手法 は特 に全反射蛍光X線 分 を表 面 に コー トしたガ ラス を用 い て追試 し,ASR現 象 析 法 (TotalReflectionX-RayFluorescence=TRXRF) が全反射領 域 で の微 小角 散 乱 で あ る と解 釈 しASR現 象 と呼ばれている. が材 質特有 の現象 で あ る こ とか ら,こ の現象 が材 料表面 他