平面光栅支撑结构设计及其面形分析计算-中国科学院长春光学精密.pdf

第 卷第 期 光 子 学 报 ４０ １０ 　 　 　 Ｖｏｌ．４０Ｎｏ．１０ 年 月 　　　　　　　　　　　　 ２０１１ １０ Ｏｃｔｏｂｅｒ２０１１ 　 ＡＣＴＡ ＰＨＯＴＯＮＩＣＡ ＳＩＮＩＣＡ 　 　 文章编号： （ ） １００４４２１３２０１１ １０１５１４７ － － － 平面光栅支撑结构设计及其面形分析计算 ， ， １２ １ １２ ， ， 梁彪 刘伟 陈程 （ ， ） １中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 长春 １３００３３ （ ， ） ２中国科学院研究生院 北京 １０００４９ ： ， 摘 要 为满足二氧化碳探测仪平面光栅高精度面形要求 对光栅及其支撑结构进行了设计和分 　 ， ； ， 析 首先 对光栅结构组件各材料的选取和支撑结构形式进行了研究 然后 以坐标变换法和最小二 ． ， ； ， 乘法为理论依据 对镜面刚体位移和畸变的计算求解进行了探讨 接着 采用有限元法对光栅结构 组件在不同热力耦合状态下的面形精度和结构强度进行仿真分析 运用有限元软件本身提供的二 ． ， ， 次开发功能 开发了能内部调用 编写的面形误差计算程序 经计算 各工况下面形误差 ＭＡＴＬＡＢ ． ， ， ， 最后 为了验证结构组件的动态特性 进行了模态分析和谐响应分 ＰＶ ６３ｎｍ ＲＭＳ １２．６ｎｍ． ≤ ≤ ， ， ， ， 析 三个方向的基频分别达到 这些结果表明 光栅结构组件设 １０４６．３Ｈｚ１６４０ Ｈｚ１１４７．５ Ｈｚ． 　 　 　 ， 计合理可行 能够满足各项设计要求