用于红外焦平面的正方形孔径球面微透镜阵列研究-本原扫描探针.pdf

第 卷第 期 光 子 学 报 ４１ ４ 　 　 　 Ｖｏｌ．４１Ｎｏ．４ 年 月 　　　　　　　　　　　　 ２０１２ ４ Ａ ｒｉｌ２０１２ ＡＣＴＡ ＰＨＯＴＯＮＩＣＡ ＳＩＮＩＣＡ ｐ 　 　 　 ： ／ ｄｏｉ１０．３７８８ ｚｘ０３９９ ｇ 用于红外焦平面的正方形孔径球面微透镜阵列研究 ， ， ， 孙艳军 冷雁冰 陈哲 董连和 （ ， ） 长春理工大学光电工程学院 长春 １３００２２ ： 、 ， 摘 要 针对目前红外焦平面光敏阵列中存在的占空比小 光能利用率低的实际问题 展开了正方 　 形孔径球面微透镜阵列制作及其与红外焦平面阵列集成应用的研究 本文从红外焦平面光敏阵列 ． ， 特点入手 对比分析了正方形孔径相比于传统圆形孔径微透镜阵列在光能利用上的优势 提出正方 ． ， 形孔径微透镜阵列激光直写变剂量曝光制作技术 建立光刻胶曝光数学模型和正方形球面微透镜 ， ， ； 面型函数 以此为基础 编制直写设备变剂量曝光控制软件 利用长春理工大的学复合坐标激光直 ２ ， 、 、 写系统和等离子刻蚀机进行相关工艺实验 制作了阵列２５６×２５６ 单元尺寸４０×４０ ｍ 球面半径 μ 、 ； ６０ ｍ 单元间距１ ｍ 的红外石英微透镜阵列 并将其与相应阵列的碲 镉 汞红外光敏阵列进行集 μ μ － － ： ， 成 结果表明 微透镜的占空比达到 红外焦平面光能利用率从原来的 提高到 以上 ． ９５％ ６０％ ９０％ ． ： ， 由此得出结论 变剂量曝光制作微透镜技术是可行的 正方形孔径球面微透镜阵列代替圆形孔径微 ， 、 、 透镜阵列 对于提高红外探测器的灵敏