非化学剂量氧对Mn156Co096Ni048O4±δ尖晶石薄膜性能的影响.pdf

云南大学学报（自然科学版），2019, 41（1）:116~122 DOI: 10.7540/j.ynu Journal of Yunnan University: Natural Sciences Edition   非化学剂量氧对Mn Co Ni O 尖晶石 1.56 0.96 0.48 4±δ 薄膜性能的影响 1 2,4** 3 4 史     芹 ，任     卫 ，张     敏 ，Jiang Chun-qi (1. 石河子大学 理学院 物理系, 新疆 石河子　832003；2. 西安邮电大学 理学院，陕西 西安　710121； 3. 新疆大学 物理科学与技术学院，新疆 乌鲁木齐　830046； 4. Old Dominion University，电子与计算机工程系，美国 弗吉尼亚 诺福克　23529) 摘要：通过在不同的氧分压条件下退火锰钴镍三元合金薄膜，成功制备出Mn Co Ni O  (MCN) 尖 1.56 0.96 0.48 4±δ 晶石薄膜. 详细探究了氧的非化学计量对MCN薄膜性能的影响. 当退火氧分压从10 kPa增加至 90 kPa时，MCN 薄膜的结晶度获得提高；薄膜表面的吸附氧由10 kPa时的61.6%减少至90 kPa时的29.2%；同时，室温电阻率 由10 kPa时的183.0 MΩ迅速下降至90 kPa时的6.9 MΩ. 这表明MCN薄膜中氧化学计量对薄膜的电学性能 有至关重要的作用. MCN薄膜的光吸收表明Mn 的阳离子浓度随退火过程中氧分压的增加而相应提高. 关键词： 尖晶石薄膜；退火；非化学计量氧；光学性能；导电率 中图分类号：TB 383        文献标志码：A        文章编号：0258−7971(2019)01−0116−07 [17] 以AB O （A 占据四面体位点，B 占据八面体 理过程中 . 尽管氧气在这些材料的导电行为中 2 4 位点）为结构通式的锰钴镍尖晶石氧化物，凭借其 起着至关重要的作用，但迄今为止，很少有研究表 优异的热敏性能，如阻温系数大、响应时间短、测 明非化学计量氧对MCN薄膜的微观结构、形貌和 [1-2] [3, 20-21] 试温区宽，制作成本低和长期的稳定性 已经广 电学性能的影响 . 泛应用于负温度系数热敏电阻器、非制冷红外探 在这项研究工作中，采用射频磁控溅射的方法 测器和其它热敏元件上. 由于厚/薄膜材料较快的 沉积了锰钴镍合金薄膜，通过在不同氧分压条件