蚀刻工艺及蚀刻液的回收-天津大学研究生e-Learning平台.pptVIP

LOGO 关于酸性蚀刻液回收读书报告 学生：吉小庆 导师：王宇新 1 2 电化学回收蚀刻液原理 电化学回收方法 天津大学 电化学回收蚀刻液的原理分析 碱性氯化铜蚀刻液： CuCl2+4NH3→Cu(NH3)4Cl2 Cu(NH3)4Cl2+Cu→2Cu(NH3)2Cl 蚀刻液 酸性氯化铜蚀刻液: Cu+CuCl2→Cu2Cl2 天津大学 Cu2Cl2+4Cl-→2(CuCl3)2- 天津大学 电化学回收蚀刻液的原理分析 Cu2+ Cu2+ Cu2+ Cu2+ Cu2+ Cu2+ Cu2+ Cu2+ Cu2+ Cu2+ Cu2+ Cu2+ Cu2+ Cu2+ Cu+ Cu2+ Cu2+ Cu2+ Cu2+ Cu2+ Cu2+ Cu2+ Cu2+ Cu2+ Cu2+ Cu+ Cu+ Cu Cu+ Cu+ Cu2+ Cu2+ Cu2+ Cu2+ Cu2+ Cu2+ Cu2+ Cu2+ Cu2+ Cu2+ Cu2+ Cu+ Cu+ Cu+ Cu+ Cu Cu+ Cu2+ Company Logo Cu+ Cu2+ Cu2+ Cu2+ Cu2+ Cu2+ Cu2+ Cu2+ Cu2+ Cu2+ Cu2+ Cu2+ Cu+ Cu+ Cu+ 电化学回收蚀刻液的原理分析 阳极反应： 阴极反应： Company Logo 电化学回收蚀刻液的原理分析 曾振欧等．CuCI2-HC1酸性蚀刻液的ORP测量及其应用[J].电镀与涂饰，2010,29(2)：14—1 8 Ir–Ta 氧化物涂层阳极(DSA) 溶液组成为：H+ 2 mol/L， Cl- 7 mol/L，Cu+0~10g/L， Cu2+ 115~120g/L 电位扫描速率为1 mV/s Company Logo 电化学回收蚀刻液的原理分析 Oxley． Electrolytic regeneration of acid cupric ：US，5421966[PJ] 1995-06-6． 天津大学 3、酸性蚀刻废液（含铜100~130g/L） 4、阳极（石墨板） 5、酸性蚀刻废液（含铜10~20g/L） 6、阴极（钛板） 7、阴离子交换膜 HILLIS M R．Method for the electrolytic regeneration of etchants for metals：US，4468305[PJ] 1984-08-28． 电化学回收方法 天津大学 电化学回收方法 Oxley． Electrolytic regeneration of acid cupric ：US，5421966[PJ] 1995-06-6． Cu+浓度： 1.5g/L Cu2+浓度：160g/L 操作温度：50℃ 阳极：石墨毡 阴极：石墨片（77.4cm2） 槽压：7-8v 天津大学 电化学回收方法 Cupric Chloride Etch Regeneration:Tri-Star Technologies Company, Inc.1997 阳极：石墨 阴极：石墨 能耗：8000 amps, 槽压：6-10V 流率: 8kg/hr 阳极液浓度：130-140g/L 阴极液浓度：20g/L 温度：48-55℃ 铜析出速率：1g/amp/hr Company Logo 总结： 酸性氯化铜蚀刻液的回收还存在着以下几个问题： 1、如何保证好的电解效果的同时防止析氯和析氢。 2、降低操作和设备费用。 3、多数设备操作不方便。 4、槽电压过高。 LOGO