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光学测量技术 卢盛林 东莞理工学院 内容介绍 光学测量的优点 光栅尺基本原理 构成： 主光栅 --- 标尺光栅，定光栅； 指示光栅 --- 动光栅 光电转换电路等 刻线密度 --- 测量精度 ( 10、25、50、100、125线/mm ) 光栅尺基本原理 光栅尺基本原理 光栅尺基本原理 光栅尺基本原理 光栅尺基本原理 光栅尺基本原理 旋转编码器 旋转编码器 增量式光电脉冲编码器 （1）组成：由光源、聚光镜、光电盘、光栏板、光敏元件(光电管)、整形放大电路和数字显示装置等组成。 旋转编码器 旋转编码器 旋转编码器 旋转编码器 码盘的种类 按码制不同分二进制码、格雷码（循环码）、十进制码、六十进制码等，最常用的是二进制循环码盘。 基于三角测量法的位移传感器 基于三角测量法的位移传感器 基于三角测量法的位移传感器 基于三角测量法的位移传感器 基于三角测量法的位移传感器 基于三角测量法的位移传感器 基于三角测量法的位移传感器 基于三角测量法的位移传感器 基于三角测量法的位移传感器 基于三角测量法的3D传感器 激光光幕尺寸测量仪器 基于三角测量法的位移传感器 基于三角测量法的位移传感器 基于三角测量法的位移传感器 基于三角测量法的位移传感器 * * DGUT 精密制造基础 光栅尺 1 旋转编码器 2 基于三角测量法的位移传感器 3 激光光幕尺寸测量传感器 4 非接触 1