第11讲压电传感器.pptVIP

第11讲 压电传感器 ;一、压电传感器的工作原理;1.压电效应;Z轴是晶体的对称轴，光轴，该轴方向没有压电效应； X轴称电轴，电荷都积累在此轴晶面上，垂直于X轴晶面的压电效应最显著； Y轴称机械轴，逆压电效应时，沿此轴方向的机械变形最显著 ; 从晶体上沿轴线切下的薄片称为“晶体切片”。垂直于电轴Ｘ切割的石英片，在与Ｘ轴垂直的两面覆以金属，材料常为银或金，用以测量工作面上产生的电荷。 切片在受到不同方向的作用力会产生不同的极化作用。主要的压电效应有纵向效应、横向效应和剪切效应。;压电效应示意图 晶片电荷极性与受力方向关系 ;(b);b、c、d、e—压电效应示意图 图 石英晶体结构及压电效应; 压电体表面产生的电荷量与作用力成正比。 沿Ｘ方向施加作用力Ｆx时，在与电轴垂直的表面上产生电荷用极化强度Px表示，极化强度P与受力晶面的应力σx成正比：; 如果在同一切片上，沿机械轴Y方向施加作用力Fy时，则在与X轴垂直的平面上产生电荷为：;根据石英晶体的轴对称条件可得d12=－d11,所以;;＋＋＋＋＋＋＋ ―――――――;并联方法，两片压电晶片的负电荷集中在中间电极上，正电荷集中在两侧的电极上。并接时，传感器的电容量大，输出电荷量大，时间常数大，故这种传感器适用于测量缓变信号及电荷量输出情况； 串联方法，正电荷集中于上极板，负电荷集中于下极板，串联时，传感器本身的电容量小，响应较快，输出电压大，故这种传感器适用于测量以电压作输出的信号和频率较高的信号。 ;二、压电材料的分类及特性 ;（一）石英晶体;天然形成的石英晶体外形;石英晶体切片及封装;石英晶体振荡器（晶振）;（二）压电陶瓷;直流电场E; 当把电压表接到陶瓷片的两个电极上进行测量时，却无法测出陶瓷片内部存在的极化强度。这是因为陶瓷片内的极化强度总是以电偶极矩的形式表现出来，即在陶瓷的一端出现正束缚电荷，另一端出现负束缚电荷。由于束缚电荷的作用，在陶瓷片的电极面上吸附了一层来自外界的自由电荷。这些自由电荷与陶瓷片内的束缚电荷符号相反而数量相等，它起着屏蔽和抵消陶瓷片内极化强度对外界的作用。所以电压表不能测出陶瓷片内的极化程度，如图。 ; 如果在陶瓷片上加一个与极化方向平行的压力F，如图，陶瓷片将产生压缩形变（图中虚线），片内的正、负束缚电荷之间的距离变小，极化强度也变小。因此，原来吸附在电极上的自由电荷，有一部分被释放，而出现放电荷现象。当压力撤消后，陶瓷片恢复原状(这是一个膨胀过程)，片内的正、负电荷之间的距离变大，极化强度也变大，因此电极上又吸附一部分自由电荷而出现充电现象。这种由机械效应转变为电效应，或者由机械能转变为电能的现象，就是正压电效应。 ; 同样，若在陶瓷片上加一个与极化方向相同的电场，如图，由于电场的方向与极化强度的方向相同，所以电场的作用使极化强度增大。这时，陶瓷片内的正负束缚电荷之间距离也增大，就是说，陶瓷片沿极化方向产生伸长形变（图中虚线）。同理，如果外加电场的方向与极化方向相反，则陶瓷片沿极化方向产生缩短形变。这种由于电效应而转变为机械效应或者由电能转变为机械能的现象，就是逆压电效应。; 由此可见，压电陶瓷所以具有压电效应，是由于陶瓷内部存在自发极化。这些自发极化经过极化工序处理而被迫取向排列后，陶瓷内即存在剩余极化强度。如果外界的作用（如压力或电场的作用）能使此极化强度发生变化，陶瓷就出现压电效应。此外，还可以看出，陶瓷内的极化电荷是束缚电荷，而不是自由电荷，这些束缚电荷不能自由移动。所以在陶瓷中产生的放电或充电现象，是通过陶瓷内部极化强度的变化，引起电极面上自由电荷的释放或补充的结果。;压电陶瓷外形;无铅压电陶瓷及其换能器外形 （上海硅酸盐研究所研制）;（三）高分子压电材料 ;高分子压电薄膜及拉制 ;高分子压电材料制作的压电薄膜和电缆;可用于波形分析及报警的高分子压电踏脚板;压电式脚踏报警器;高分子压电薄膜制作的压电喇叭（逆压电效应）;第二节 压电传感器的测量转换电路 ; 压电传感器可等效为电压源Ua和一个电容器Ca的串联电路，如图(a)；也可等效为一个电荷源q和一个电容器Ca的并联电路，如图(b)。 ;压电传感器只能应用于动态测量! ;压电式传感器完整等效电路; 压电传感器本身产生的电荷量很小，而其本身内阻很大。为顺利进行测量，要将压电传感器先接到高输入阻抗的前置放大器，经阻抗变换后，再采用一般的放大检波电路处理，将输出信号提供给指示及记录仪表。 压电传感器的前置放大器有两种： 采用电阻反馈的电压放大器； 采用电容反馈的电荷放大器。;1）电压放大器;前置大器输入电压幅值为;令 为测量回路的时