几种膜系的理论及应用研究(要点.docVIP

PAGE PAGE I 武 汉 职 业 技 术 学 院 毕业论文 几种膜系的理论及应用研究 系别:光电子技术系 班级:光电 11303 作者:韩炜 指导教师:张雅娟 2014年 02月22 日 PAGE PAGE II 摘 要 镀膜是将光学薄膜沉积在光学零件表面的制造过程。光学薄膜应用于各种反射和透射光学元件，薄膜技术是光学技术的一个重要组成部分。镀膜技术涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。本文阐述了几种常见镀膜工艺的特点，进行工艺比较，结合当前的实际应用对镀膜的应用做了一定的归纳和总结，对未来镀膜工艺进行展望。着重介绍了ITO膜和PI膜 关键词：镀膜 薄膜 ITO膜 PI膜 PAGE PAGE II 目录 摘要 I 1 绪言1 1．1镀膜意义1 1．2光学薄膜1 2 镀膜技术2 2.1常用的镀膜工艺2 2.2三种镀膜工艺比较3 2.3三种镀膜工艺的应用3 3 光学薄膜分类5 3.1减反射膜5 3.2反射膜6 3.3干涉滤光片7 3.4分光膜7 4 ITO薄膜8 4.1ITO薄膜基本性能8 4.2 ITO薄膜在国内的发展11 5 聚酰亚胺薄膜（PI膜）12 5.1聚酰亚胺薄膜（PI膜）特性12 5.2聚酰亚胺优点13 5.3 PI膜未来