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电荷耦合器件(CCD)图像传感器 光信息81 魏 宇 童 09年10月6日，瑞典皇家科学院在首都斯德哥尔摩宣布，将当年诺贝尔物理学奖授予英国华裔科学家高锟，以及美国科学家威拉德·博伊尔和乔治·史密斯，以表彰他们在光导纤维和数字成像技术领域的突破性贡献。 1969年10月的一天下午，在贝尔实验室总部，两人在黑板上比划着，他们的想法是如何利用爱因斯坦提出的光电效应。他们发现，当光撞击到一块硅片时，它会敲除电子，光越明亮，被敲除掉的电子就越多。?当时贝尔实验室正在发展影像电话和半导体气泡式内存。博伊尔和史密斯将这两种新技术结合起来后得出一种装置，他们命名为“电荷‘气泡’元件”（Charge “Bubble” Devices）。这种装置的特性就是它能沿着一片半导体的表面传递电荷，两人便尝试用来做为记忆装置，随即发现光电效应能使此种元件表面产生电荷，而组成数位影像。 　　CCD图像传感器的发明，实际上是应用爱因斯坦有关光电效应理论的结果。但是从理论到实践，道路却并不平坦。科学家遇到的最大挑战，在于如何在很短的时间内，将每一个点上因为光照而产生改变的大量电信号采集并且辨别出来。 CCD的基本结构包括：转移电极结构、转移沟道结构、信号输入结构、信号输出结构、信号检测结构。 构成CCD的基本单元是MOS电容。 一系列彼此非常接近的MOS电容用同一半导体衬底制成，衬底可以