适用于有机半导体薄膜器件制备的原位实时测量技术分析.pdfVIP

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2019-07-25 发布于安徽
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适用于有机半导体薄膜器件制备的原位实时测量技术分析.pdf

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ABSTRACT In recent researchand of semiconductor years，the applicationorganic gotrapid researchfieldacross development，formingmulti—disciplinary electronicsandmaterialsandSO tOtraditional on．Compared in semiconductormaterialscausedwideattentionvariousfieldssuch觞electronics． and tothe microelectronics，solarbatterycommunication．Accordingstudy,the filmthicknessandtheinteractionbetweenfilmof thinfilmand structure，the organic SOonarethe factors the device importantinfluencingorganic themain all forreal-time the andelectric proposeapproach measuringoptical ofathinfilm the of andthen the properties duringprocessgrowth study relationsbetween andelectric andthinfilm corresponding opticalsignal property structure．111eis onthebasisoftwo effect approachdeveloped techniques：field basedelectricalcharacteristicsmethodand transistor(FET)structure testing differentialreflectance worksincludethe spectroscopy(DRS)．n圮mainfollowing aspects： 1、Forthedemandofin—situreal-time the andelectric measuringoptical of semiconductorthinfilm the of propertiesorganic duringprocessgrowth，propose the ofin-situreal-time the andelectric andset approach measuringoptical propert