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現代実験物理学I
松田巌
真空
広辞苑
-物質のない空間。
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-人工的には一気圧の約1/10 以上のものは得られないが、実際には大気よりも
圧力の低い空間も真空と呼ぶ
日本工業規格JIS
-大気圧より低い圧力の気体で満たされている特定の空間の状態
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物理工学実験4
「真空技術」
堀越源一著
東京大学出版会
真空の性質
真空をつくる
http://jvia.gr.jp/
拡大
物理工学実験4
「真空技術」
堀越源一著
東京大学出版会
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油回転真空ポンプ
ロータリ―ポンプ
機構全体が蒸気圧が低くかつ十
分な潤滑作用を持つ油（真空ポ
ンプ油）に浸かっている。
真空ポンプ油の利点
-潤滑性
-気密性
-冷却作用
-大気圧排出の補助流体
真空ポンプ油の欠点
-油漏れ
-排出口からオイルミスト
光源加速器
高輝度放射光施設：SPring-8
Ｘ線自由電子レーザー：SACLA
東京大学放射光アウトステーション物質科学ビームライン SPring-8 BL07LSU 12
東京大学物性研究所 極限コヒーレント光科学研究センター 軌道放射物性研究施設
東京大学放射光連携研究機構 物質科学部門
SPring-8
12
SPring-8 BL07LSU
高輝度放射光施設
軟X線ビームライン
スクロール
ポンプ
メカニカル
ブースター
ポンプ
メカニカルブースターポンプ
物理工学実験4
「真空技術」
堀越源一著
東京大学出版会
ターボ分子
ポンプ
ターボ分子ポンプ
物理工学実験4
「真空技術」
堀越源一著
東京大学出版会
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