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已完成研究工作 欧姆接触的设计测试分析 1.欧姆接触的能带分析 2.多层金属设计方案： 多层欧姆接触结构是指在半导体表面淀积3层或3层以上 金属结构，通过适当的工艺处理得到所需的欧姆接触特性 一般分为势垒层、覆盖层、扩散阻挡层、帽层。 查阅一些资料给出一些金属材料的特性：钛（Ti） 、铝 （Al） 、镍（Ni） 、金（Au） 、铂（Pt）、钴（Co） 已完成研究工作 通过上述对金属材料接触特性的分析可以看出，用于欧姆接触的金属元素在元素周期表中多为过渡金属元素。这些金属元素的功函数与其原子外层电子排布呈对应关系，即金属功函数随原子序数呈现周期变化，右图为金属的功函数。 已完成研究工作 通过对多层欧姆接触的理论分析和已有的国内外文献查阅， 我们的多层欧姆接触设计方案为Ti/Al/Ni/Au 或Ti/Al/Ti/Au 其中： 钛（Ti）金属具难熔性，更高的化学活性，功函数低的优点 ，可以和Si形成良好的化合键 ，Ti与Si在退火作用下，可以生成TiSi2化合物，其具有较低的电阻率和较高的热稳定性， TiAl3合金可以降低势垒高度。 铝（Al）金属其电阻率低、淀积工艺简单、制造成本低，与Si及其氧化物的黏附性很好，并且可以与Si表面的天然氧化薄层反应，因此可以形成良好的欧姆接