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电子 机械 工程 2004 20 6
54 Electro - Mechanical Engineering 2004. Vol. 20 No. 6
5
10 g
,
( , 610054)
5
: 在已有 10 g 压阻效应阵列式加速度微传感器版图设计的基础上, 应用有限元理论及 关软件,
对版图中的硅微悬臂梁进行了模态分析和结构动态计算将宏观理论应用到微观结构分析中; 并对该
种结构的加速度传感器的样品进行了冲击实验, 得到实验曲线对计算分析与实验结果进行了比较, 指
出并分析了误差可能出现的方面
: 阵列式加速度微传感器; 模态分析; 结构分析; 有限元; 沙漏效应
:TP212;TH824. 4; O342 : B : 1008- 5300( 2004) 06- 0054- 03
5
Structural Analy i of Siliconcantileverbeam of a 10 g
Piezore i tanceeffect Micro Acceleration Sen or Array
XIE Yuanrui, LIU Xiaoming
( University of Electronic Science and Technology of China, Chengdu 610054, China)
5
Abstract: On the ba i of an available de ign of 10 g micro acceleration en or array layout, the modal frequency
and tructure dynamic re pon e of a ilicon- cantilever- beam are analyzed u ing the f inite element method and rel
evant oftware. In thi paper a method of applying the macrotheorie to the microtructure ha been tried. The
hock experiment of the micro en or wa carried out, and the experimental re ult i obtained. Thi paper compare
the re ult of imulation and experiment , then point out and analyze po ible rea on of error.
Key words: micro acceleration en or array; modal analy i ; tructural analy i ; finite element method; hourgla
ing effect
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0 引 言
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