同步辐射光源的真空系统.ppt

真空室： 材料：铝、铜、不锈钢 结构：磁铁孔径、抽气通道、高频阻抗 在保证真空室强度同时考虑安装、支撑的情况下，尽可能减小磁铁孔径，真空室通道分为两部分—束流通道和抽气通道。 束流截面要保持一致性且在真空室连接处不能有台阶。 抽气通道上可开抽气口及吸收器安装口。 真空室内有冷却水管道。 泵的选择： 主泵采用离子泵，并配有NEG及升华泵。预抽使用无油分子泵机组。 真空测量： 选用热规进行真空测量，测量极限5×10-11 Torr。 阀门与波纹管： 均需采用高频屏蔽结构。 同步光吸收： 根据光路计算，在合适的位置安装吸收器，用以阻挡同步光打到真空室上。 插入件真空系统： 要考虑的问题： 磁块放气—磁块表面镀膜 束流通道连续性—前后两端加过渡节 真空度—控制材料放气，加工、安装过程严格保证真空卫生，合理配置真空泵 安装前预调试 每个单元8段真空室分成3部分组装，并安装真空泵进行检漏、烘烤，达到要求的真空指标后整体吊装进隧道就位后贯通。尽量减少暴露大气时间。 其他 光源真空人员的目标知识面 目标知识面和系统集成能力： 真空机械一体化 真空低温一体化 机械电器一体化 工程物理一体化 技术人文一体化 涉及真空的书刊、杂志、文集 书刊： 国内外“真空设计手册”、真空专业教科书、真空科技专著 真空科技杂志： 国内：“真空”、“真空科学与技术”、“真空电子”、“真空与低温”、“核技术” 国际：J.V.S.T、Vacuum等各国的“真空” 3. 涉及真空科技的期刊文集：Review of Sci Instr、核技术、表面科学、纳米等，各种会议和workshop（加速器会、真空会）文集 SSRF非真空专业人员解决真空问题的基本条件和方法 了解点常规真空技术的基本概念和知识，并有点实践和感性认识。 适当了解本装置的总体设计，把握本装置真空问题的特殊性。（抓住关键） 和真空厂商量特殊真空问题的解决方法，并实施。（合理利用真空厂力量） 谢谢 同步辐射光源的真空系统 本次讲座内容 真空基础知识 部分真空设备的原理 真空室 真空获得 光源真空系统 其它 真空基础知识 什么叫真空？ 一定范围空间内的气体压强低于大气压的状态 真空区域划分：低、高、超高、极高 划分的原因： ①根据气流特点（低、高、超高真空→湍流、 粘稠流、分子流）； ②不同区域功能不同，所用真空设备不同。 真空区域划分及对应真空泵 低真空：105～10－1 Pa →RP 中（高）真空：10－1～10－5 Pa →TMP 超高真空：10－5 ～10－9 Pa →TMP or SIP、SIP＋TSP＋NEG 极高真空：＜10－9 Pa →LHeCP+SIP 先弄清你的装置要达到的真空区域要求！ 2.常规真空技术的主题： 真空容器－气源（气载）－抽气（抽速），即真空获得和测量。 真空容器：结构、材料、密封、制造、工艺→如何适应总体、漏气出气少、易加工、经济？ 气源：空间气体、漏气、渗气、材料表面出气（热解吸、电子离子光子感应解吸、室壁体内气体输运到表面）、人为充入的介质气体→如何减少气载、控制气体成分？ 抽气：泵（抽气原理和特性）～气体流导（抽气通道结构和气体分子运动学）→如何提高抽气能力和效率？ 全压强测量和气体成份分析（分压强）→如何提高测量真实性、精度和一致性？ 真空系统控制→如何操作真空设备、真空数据采集和处理、真空联锁保护？ 部分真空设备的结构与原理 真空泵： ● 旋片式机械泵 ● 涡旋式机械泵(干泵) 工作范围：105Pa～10-2Pa 分子泵 定子和转子都装有多层涡轮 叶片，转子和定子叶片倾斜面方 向相反。分子泵工作时，转子 高速旋转，迫使气体分子通过 叶片从泵的上部流向下部出口， 从而产生抽气作用。 工作范围1Pa～10－8Pa。 溅射离子泵 在钛板（阴极）和不锈钢圆筒（阳极）间加上3～7kv高压，通过磁场作用，空间中的自由电子产生潘宁放电，轰击钛板，打出的钛原子沉积在阳极筒及和阴极 板上，气体分子碰撞到 新鲜钛膜产生化学吸附， 形成稳定的化合物而产 生抽气作用。 工作范围：10－3Pa～10－8Pa。 锆铝吸气剂泵 它是由锆铝合金材料（84％锆、16％铝）在高温下激活后吸附活性气体的泵。 工作范围：10－6Pa～10－10Pa。 真空泵（1）－泵的性能特点 极限真空度（泵本身达到最低压强） 抽速曲线（压强～抽速） 抽气