原创力文档- 1、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
- 2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击 这里二次下载。
- 3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
31 4 Vol. 31 No. 4
第 卷 第 期 发 光 学 报
2010 8 Aug． ，2010
年 月 CHINESE JOURNAL OF LUMINESCENCE
文章编号:1000-7032 (2010)04-0599-06
有限元分析法在SOI 基微环谐振器设计中的应用
*
， ， ， ， ， ，
谢 生 张 彬 毛陆虹 郭维廉 陈 燕 于 欣 张世林
( ， 300072)
天津大学电子信息工程学院 天津
摘要: (FEM) SOI (Silicon-on-insulator) ，
利用有限元法 分析了大横截面 脊型波导的本征模式分布 确定了脊型
。 ， SOI 、
波导的单模条件 在保证单模传输的情况下 模拟了 微环谐振器中波导耦合器的耦合长度 功率耦合系
。 : W = 1 m ，H = 2 m SOI ， L
数与波导尺寸和间距的关系 模拟结果表明 对于 μ μ 的 脊型波导耦合器 耦合长度 C
d ， 。 d ＜ 0 ． 8 m ， L
随波导间距 的增加而增大 功率耦合系数随之减小 在波导间距 μ 的情况下 耦合长度 随着归
C
r ， d ＞ 0 ． 8 m ， L r 。 SOI
一化脊高 的增加而增大 当 μ 时 耦合长度 随 的增加而减小 模拟结果为 微环谐振器的
C
设计和应用提供了理论依据。
: ; ; ;
关 键 词 集成光学 微环谐振器 单模条件 波导耦合器
中图分类号:TN252 ;TN256 PACS :42 ． 82 ． Et PACC :4282 文献标识码:A
，
成若干个小区域 把每个小区域内的连续场变量
1 引 言
。
近似地用多项式构成的形状函数表示 由于有限
文档评论（0）