电子显微镜 (二).pdfVIP

电子显微镜 透射电镜(TEM) 扫描电镜(SEM) 功 能 地形学 Topography: surface features, texture hardness reflectivity ... 构造 Morphology: shape and size of particles strength reactivity… 形貌 Composition: qualitative and quantitative melting point, 组分 reactivity, hardness... Crystallographic Information: atoms arrangement conductivity, 晶体结构信息 electrical properties, reactivity, strength In-situ observation: 原位观察 electron gun电子枪 anode 阴极 Vo 照明斑点 condenser lens system 双聚光镜系统 的大小及 + aperture 亮度 thin sample样品 objective lens 物镜 决定电镜的分辨能力 selected area obj. aperture with α 光圈 aperture (diaphragme) interm. 中间镜 调节放大倍率 lenses obj. image plan (Gauss plan) projector lens 投影镜 final image screen 观察屏 vacuum pump 真空系统 透射电子显微镜仪 扫描电子显微镜（SEM ） 利用扫描电子束从固体试样表面获得放大图像的仪器，称 为扫描电子显微镜，简称扫描电镜。 扫描电子显微镜，自1935年由德国科学家诺尔研制成功 后，经过长期的发展，已成为人们观察和检测非均匀相有 机材料、无机材料及在其微米、亚微米局部范围内表面特 征的强有力工具．在科研和生产中，扫描电镜的分析报告 对成果的评价占有十分重要的地位．它的设计制造是现代 技术的综合，对它的研究和使用，不论在理论上或实践上 都是很有意义的。 电子束与固体试样的交互作用 入射电子束 X-射线 incoming 二次电子 beam characteristic X-rays secondary electrons (SE) cathodoluminescence 背散射电子 backscattered electrons (BE) Auger electrons 俄歇电子