三氯氢硅合成炉尾气的治理.docVIP

合成炉尾气特性 三氯氢硅合成尾气各主要成分的体积分数分别 为，HCI 30％；H2 64．2％；SiHCI3 5．4％；其他 0．2％。 很明显 ，合成炉尾气均为可回收的产品或可循 环使用的原料。对尾气进行有效的治理，不仅可以提高原料的利用率，还可以降低三废的排放量。为了合 理治理尾气，必须根据尾气 的特性、成分 、压力等 。选 择适当的工艺流程和技术条件。 治理原理 三氯氢硅合成尾气 的主要成分是氯化氢 和氢 气，占尾气的94．4％，其余是少量的三氯氢硅和二氯 二氢硅等。虽然三氯氢硅的沸点为 31．8 cc，很易被冷凝，但是它在尾气中的体积分数仅为 5．4％。按照道尔分压定律，气体混合物的总压等于混合气体中每种气体的分压之和，经计算，在尾气压力为 0．11～0．12 MPa时，其分压仅为 0．005 94～0．006 48 MPa。如此低的分压在常温或不太低的温度下 ，很难被冷凝。三氯氢硅饱和蒸气压与温度的关系为 ： 式中： 三氯氢硅饱和蒸气压，kPa； 温度 ，K。 当尾气中三氯氢硅 的分压为 0．005 94～0．006 48 MPa时，其对应 的温度为28～30。可见 ，如果想将尾气中大部分三氯氢硅冷凝下来 ，就要有很低的温度，这样就必定会消耗大量的能源，并且 回收装置体积也较大。 根据三氯氢硅饱 和蒸气压与温度 的关 系式可 以看 出．适 当地提高尾气的压力就可以提高三氯 氢硅 的分压 ，与分压对应 的温度也就 比较高 ，也就 是说 ，在较高 的压力和不太低 的温度下 ，将大部分三氯氢硅冷凝 。不 同尾气 总压及各组分分压数据 见表 1 从表 l可 以看出，当尾气压力在 0．7 MPa时 ．如 果控制尾气出冷凝器的温度在一2O℃以下，尾气中 大部分的三氯氢硅就可以被冷凝下来，使尾气中三 氯氢硅的体积分数降至 1％左右。 3．2 治理方法 将从三氯氢硅合成炉排出的尾气 ，经压缩使其 压力达到 0，7 MPa后进入水冷却器进行初步冷却 ， 然后再进入冷凝器经一45℃ 3．2．1 综合 回收方 法 未冷凝的氯化氢 、氢气返 回氯化氢合成系统，氢 气与氯气按一定 比例混合，燃烧生成氯化氢，循环使 用。 3 _2 淋洗中和处理方法 氯化氢、氢气和少量的未冷凝 的氯硅烷送尾 气 淋洗塔 ，用大量水进行喷淋吸收，氯化氢溶解于水中，三氯氢硅等氯硅烷水解生成二氧化硅和溶于水的氯化氢 ．氯化氢水溶液经氢氧化钠中和达标后排放。 3，2-3 尾 气吸 附处理 方 法 利用活性炭对氯硅烷的吸附作用。当尾气 中 氯化氢 、氢气及少量未液化的氯硅烷经过活性炭 后 ，其 中的氯硅烷就被活性炭吸附 ，当活性炭吸附 饱和后 ，由蒸 汽加热 ，脱 出吸 附的氯硅烷 ，与合成 产品一同送分离 系统进行分离。未被吸附的氯化 氢经水吸收后 ，变为副产品盐酸外售。剩余的氢气 送氯化氢合成系统按一定比例与氯气燃烧生成 氯 化氢循环使用。 4 治理方法的比较 4．1 综合回收方法 采用该方法使合成工序开路工艺流程变为闭路循环，提高原材料利用率，除低了原材料单耗，实现了无废气排出，彻底解决了环境污染问题。 但是．尾气中含有的微量氯硅烷容易与氯化氢中的水反应生成固体二氧化硅堵塞管道 ，另外三氯氢硅进入合成炉会导致三氯氢硅的收率降低。 4．2 淋洗中和处理方法 该方法工艺简单 ．技术成熟 ，投资少 ，通过控制喷淋系统的水量和 中和池的氢氧化钠 的投入量 ，也可以很好地实现合格排放。 缺点是没有对氯化氢和氢气进行二次利用 ，使 消耗增高 。另外尾气中的氯硅烷与水反应生成不溶于水的二氧化硅和盐酸，同时氯化氢于水也形成盐酸，三废处理量大。 4．3 吸附塔吸附方法 在回收少量的氯硅烷的基础上 ，尾气中的氯化氢被水吸收后成为盐酸，不但解决了酸性水排放的问题 ．同时增加 了副产品盐酸 ，增加了经济效益。该方法对活性炭的要求较高 ．蒸汽用量较大，经济性较差。